Gebraucht ULTRATECH 1100 #9105780 zu verkaufen

ULTRATECH 1100
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1100
ID: 9105780
Steppers.
ULTRATECH 1100 ist eine Lithographiemaschine zur Herstellung von Hochleistungs-integrierten Schaltungswafern (IC). Es ist mit Funktionen ausgestattet, die es einem Chiphersteller ermöglichen, integrierte Schaltungsgeräte mit erhöhter Leistung zu erstellen. Diese Ausrüstung ist in der Lage, hochdichte Matrize zu produzieren, die kleinere Torgrößen und feinere Linienbreiten aufweisen als mit anderen Steppern erreichbar ist. 1100 ist in der Lage, Photolithographie mit einer Auflösung von bis zu 0,12 Mikrometer. Es ist mit einem UV-Laser für eine Belichtungsquelle ausgestattet und kann für High-Performancenm oder größer verwendet werden. Es verfügt über eine innovative Stufen- und Wiederholungsfunktion, die eine bis zu dreifache verfügbare Feldgröße gegenüber den Vorgängersystemen ermöglicht. Dieses Modell verfügt auch über ein neues Laser-Rücklesesystem, das hochpräzise Belichtungseinstellungen ermöglicht. ULTRATECH 1100 hat auch eine Positioniergenauigkeit von 1 Mikrometer oder besser, das ist 50-100 mal besser als typische optische Systeme. Dadurch können Chiphersteller Geräte mit extrem hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit erstellen. Das Gerät ist auch auf einer hochstabilen Plattform montiert, die im Laufe der Zeit hervorragende Leistung bei minimalem Drift bietet. Die Maschine ist flexibel und kann sowohl im Front- als auch im Backside-Beleuchtungsmodus verwendet werden. Es wurde entwickelt, um eine breite Palette von Photomasken zu unterstützen, die kontaktlose, berührungslose und binäre Typen umfassen können. 1100 verwendet ein erweitertes Verschlusswerkzeug und ist auch mit Vollfeldausrichtungsfunktionen ausgestattet. Dadurch wird sichergestellt, dass die Stempelpositionen über eine gesamte Waferoberfläche hinweg konsistent und exakt sind. Darüber hinaus ist die Reinigungsanlage so konzipiert, dass Fehler durch luftgetragene Verunreinigungen minimiert werden, und das Funktionsmaskierungsmodell ermöglicht die automatische Erstellung mehrerer Schichten in einer einzigen Belichtungssequenz. Insgesamt ist ULTRATECH 1100 auf hohe Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Effizienz ausgelegt. Mit dieser Ausrüstung können Chiphersteller präzisere ICs mit engeren Toleranzen erstellen. Es ist auch in der Lage, kleinere Geräte mit kleineren Torgrößen und feineren Linienbreiten herzustellen. Dies macht 1100 zu einer attraktiven Option für heutige Chiphersteller, die Hochleistungsgeräte erstellen möchten.
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