Gebraucht ULTRATECH 1100 #9224143 zu verkaufen

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ULTRATECH 1100
Verkauft
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1100
ID: 9224143
Steppers.
ULTRATECH 1100 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper für den Einsatz in Photolithographie-Prozessen. Es verfügt über die Fähigkeit, eine Vielzahl von Wafern von 4 „bis 8“ im Durchmesser zu verarbeiten. Die patentierten motorisierten Kopfstufen des Steppers ermöglichen eine präzise Positionierung und wiederholbare Ausrichtung des Wafers für präzise Overlay- und Step/Repeat-Bildgebung. Die vakuumdichte Wafer-Wurfeinheit von 1100 ist für maximale Wafer-Handhabungsgenauigkeit konzipiert und kann Mikroschritt- und Mikrodynamikbewegungen durchführen, die eine genaue Positionierung ermöglichen. Der Stepper ist mit einer Belichtungseinheit ausgestattet, die Belichtungswerte von bis zu 300.000 Lux unterstützt. Dies ermöglicht eine breite Palette von Belichtungszeiten und verschiedenen Empfindlichkeitsstufen. ULTRATECH 1100 verfügt auch über eine Reihe von Arbeitsplätzen, darunter einen Latentbildmonitor, eine Retikelmontage, einen mechanischen Verschluss für die Halo-Reduktion, einen Helium-Durchflusskalibrator und eine Gasdispersionseinheit zur Steuerung feiner Partikel. Das System beinhaltet auch eine Präzisions-Wafer-Ausrichtstufe, die Submikron-Positioniergenauigkeit ermöglicht. Diese Funktion ermöglicht die Überlagerungssteuerung in der x- und y-Achse, um eine konsistente Überlagerung und ordnungsgemäße Strukturierung zu gewährleisten. 1100 ist in der Lage, bis zu 16.000 Schritte mit einer 24 "-Maske. ULTRATECH 1100 ist ein außerordentlich flexibler und zuverlässiger Wafer-Stepper für Produktionsanwendungen. Es bietet schnelle Zykluszeiten und Präzisionsgenauigkeit auch bei hohen Belichtungswerten. Die motorisierten Kopfstufen ermöglichen eine präzise Positionierung und die fortschrittlichen Messtechnik und Inspektionssysteme garantieren eine kritische Genauigkeit. Darüber hinaus wird jeder Schritt/Wiederholungszyklus überwacht und validiert, was eine gleichbleibende Leistung bei jedem Einsatz garantiert. 1100 bietet zuverlässige Leistung, Flexibilität und schnelle Zykluszeiten für eine Reihe von Produktionsanforderungen.
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