Gebraucht ULTRATECH 1100 #9238245 zu verkaufen

ULTRATECH 1100 ist eine hochentwickelte Deep-UV (DUV) -Trockenfotolithographie-Ausrüstung, die den Anforderungen führender Halbleiterhersteller gerecht wird. Es verfügt über eine Stepper und Scanner-Konfiguration, die überlegene Bildgebungs- und Overlay-Genauigkeit auf verschiedenen Wafer-Ebenen erzeugt. Das System bietet eine breite Palette von Anwendungen, darunter die Strukturierung fortschrittlicher Wafer-Level-Chip-Scale-Verpackungen (WLCSP), durchgehendes Silizium über (TSV) -Technologien und ultradünnes Wafer/bandloses Bonden. 1100 kann eine hohe Bildauflösung bis zu einem Minimum von 0,25 Mikron (μ m) Auflösung bereitstellen. Darüber hinaus hat es die höchste Overlay-Genauigkeit auf dem Markt von 0,3 μ m bei 20mm. Die eingebaute optische Einheit ist für einen extrem geringen Arbeitsabstand optimiert, der die Auswirkungen von Waferkantenverzerrungen auf die Bildgenauigkeit minimiert. Darüber hinaus verfügt der Stepper über die neuesten Technologien in der Image-Based Self Calibration (IBSC) sowie Chromatic Restrain Alignment (CRA) und bietet eine überlegene Bildgebungsleistung sowie Umweltstabilität und hohe Produktivität. ULTRATECH 1100 Trockenstepper ist in der Lage, sehr präzise Merkmale bis zu 0,1 μ m x 0,1 μ m über den gesamten Substratbereich zu strukturieren, wodurch die Notwendigkeit, mehrere Belichtungstechniken wie Stufenbelichtungen zu verwenden, eliminiert wird. Einige der anderen Funktionen der Maschine umfassen erweiterte Hintergrundsubtraktion, Accu-Clamp Tool für erhöhte Fokussiergenauigkeit, und Vertical Displacement Alignment (VDA) mit Unterstützung für bis zu 15kHz Dateneingangsfrequenzen. 1100 verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche, eine hochpräzise Flachfeldbeleuchtung und eine erweiterte Kamera-Ausstattung mit Unterstützung für die digitale 32-Bit-CMOS-Videoaufnahme und die neuesten Bildverarbeitungsalgorithmen. Für volle Modellproduktivität ist der Stepper mit einer Remote-I/O-Schnittstelle und einer Ethernet-Fernbedienung ausgestattet, die einen nahtlosen Übergang zwischen mehreren Systemen ermöglicht. Darüber hinaus umfasst die ULTRATECH 1100 eine Reihe von Mehrwertmerkmalen, die den spezifischen Anforderungen unterschiedlicher Produktionsprozesse gerecht werden, wie automatische Objektivumschaltung und motorisierte Waferbewegung. Mit seiner umfassenden Schrittfähigkeit bietet 1100 sowohl hochgenaue Bildgebungstechniken als auch Anwendungen mit hohem Durchsatz.