Gebraucht ULTRATECH 1100 #9244754 zu verkaufen

Hersteller
ULTRATECH
Modell
1100
ID: 9244754
Wafergröße: 4"
Weinlese: 1998
Stepper With Nitrogen 1998 vintage.
ULTRATECH 1100 ist ein leistungsstarker Präsenz-Wafer-Stepper, der es Anwendern ermöglicht, Substrate automatisch vielseitig und zuverlässig auszurichten und zu messen. Diese Maschine ist ideal für die Verarbeitung von dünnen Substraten, wie Halbleiterscheiben, mit Mikron-Pegelgenauigkeit und gleichmäßigen Durchsatzraten. Es ist mit einer großen 23-Zoll-Stufe ausgestattet, die exakte Ausrichtung und Messungen ermöglicht. 1100 kommt mit einem Auto-Alignment-System, das eine präzise Platzierung und Ausrichtung der Substratoberfläche mit Wafermasken und Geräteschichten ermöglicht. Dies sorgt für hohe Produktivität und Erträge bei gleichzeitiger Reduzierung von Fehlern und Fehlern. Der Stepper ist mit einem Multi-Layer-Mapping-System auf präzise Bildkanten des Substrats ausgelegt und ermöglicht eine komplizierte Anpassung für eine optimale Ausrichtung, wodurch die höchste Genauigkeit erreicht wird. Die Verarbeitung mit ULTRATECH 1100 ist automatisiert und ermöglicht die volle digitale Kontrolle über Ausrichtung, Belichtung und Messung. Dies erhöht die Durchsatzraten ohne Qualitätseinbußen. Der Stepper kann mit verschiedenen Vakuumtechniken konfiguriert werden, um eine robuste Handhabung von Substraten zu ermöglichen. Sein robustes Design sorgt für einen wiederholbaren Belichtungsprozess, der die Möglichkeit von Qualitätsschwankungen zwischen den Substraten minimiert. 1100 bietet auch ein fortschrittliches Mustererkennungssystem, um detaillierte Inspektion und Analyse zu erleichtern. Seine Oberflächenzuordnungsfunktionen ermöglichen es den Operatoren, die Wafer-zu-Wafer-Leistung zu untersuchen und notwendige Anpassungen vorzunehmen. Zur präzisen Messung der Substratkrümmung zur weiteren Bild-/Ortskompensation und -optimierung ist der Stepper auch mit bordeigenen Dehnungsmessstreifen ausgestattet. Darüber hinaus bietet ULTRATECH 1100 hervorragende Leistung und breite Kompatibilität mit Mikrofabrikationsprozessen. Es unterstützt eine breite Palette von Verarbeitungstechnologien wie Oxidation, Implantation, Ätzen, Spin Coating und Photoresist Spin Techniken. Mit seiner intuitiven Software ist der Stepper einfach zu bedienen und wird von Online-Ressourcen unterstützt. 1100 ist ein sehr zuverlässiger Wafer-Stepper für die Halbleiterverarbeitung, der höchste Genauigkeit und Durchsatz bietet.
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