Gebraucht ULTRATECH 1100W #131417 zu verkaufen

ULTRATECH 1100W
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1100W
ID: 131417
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1989
Wafer stepper, 6" Oblong chucks Fitted with small cross masks for better alignment accuracy is a 1:1 projection Lens quoted in the range of 0.9 to 1.25 depending on Numerical aperture, but for production 1.25 micron Operation and maintenance manuals Last software installation 2004 Powered up 1989 vintage.
ULTRATECH 1100W Wafer Stepper ist ein leistungsstarkes Werkzeug im Halbleiterproduktionsprozess, um Mikrostrukturen auf Wafer zu drucken. Mit einem lichtbasierten Scan-Ansatz erzeugt es eine kontinuierliche Linie von gedruckten Funktionen mit Präzision und Wiederholbarkeit. Dieser Stepper bietet eine hohe Genauigkeit und Auflösung der Funktionen und ermöglicht eine schnelle und effiziente Waferbearbeitung. Das Gerät weist einen modularen Aufbau auf, der aus einem Sockel und einem in der Höhe verstellbaren Lichtleiter besteht. Es verfügt über eine einfache Ausrichtung mit einem Laser-Visiersystem und kann seinen 10K-12K W/cm2 programmierten Intensitätsbereich auf maximal 30K-35K W/cm2 erweitern, ohne zusätzliches Zubehör zu benötigen. Es zeichnet die Start- und Endposition der Funktion mit 1,5 μ m Reproduzierbarkeit genau auf. Der Stepper ist mit einem fortschrittlichen Bewegungsmotor entwickelt, um Geschwindigkeit und Genauigkeit des Wafers jederzeit zu gewährleisten und kann leicht in alle Werkzeugsysteme integrieren. Seine Konstruktion, mechanische Struktur und Steuereinheit erfüllen die Anforderungen an hohe Präzision und konsistente Leistung. Darüber hinaus ist der Stepper mit Sicherheitsfunktionen wie Übertemperaturschutz, Überdruckschutz und automatischer Erkennung von Prozessausfällen ausgestattet. Es verfügt über eine fortschrittliche Sensortechnologie, die in der Lage ist, kleine Funktionen bis zu einer Minute von 6 μ m automatisch zu erkennen und mit bis zu 16-Stufen-Rotation. Die Maschine kann auch mit Wafer-Sortiersystemen von Drittanbietern für eine einfache Wafer-Handhabung integriert werden. 1100W Wafer-Stepper bietet eine außergewöhnliche Prozesssteuerung, verbesserten Ertrag und verlängerte Produktlebensdauer und ist somit eine ideale Wahl für die Halbleiterproduktion. Es ist ein wesentliches Werkzeug für die Weiterentwicklung der Halbleiterindustrie.
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