Gebraucht ULTRATECH 1500 MVS #293751911 zu verkaufen

ULTRATECH 1500 MVS (Multi-Vendor Stepper) ist ein hochmodernes Photolithographie-Tool, das hochauflösende Bildgebung, Schichtgenerator, Mehrwellenlängenbelichtung und hohe Produktivität ermöglicht und zur Herstellung integrierter Halbleiterschaltungen (ICs) verwendet wird. Bei der Schritteinrichtung handelt es sich um ein optomechanisches Werkzeug, das ein hochauflösendes Linsen- und Abbildungssystem, eine Beleuchtungsquelle, eine vorbestimmte Bewegungsstufe und ein Retikelfutter enthält. Der Stepper setzt auf hochauflösende Optik und Schichtgeometrie, um das Produktmuster auf den Wafer zu ätzen. 1500 MVS verfügt über eine kontrastreiche und hochauflösende Fotoausrichteinheit mit DIC-Bildgebung (Differential Interference Contrast), Schrittmaschinen-Telezentrizität, die eine hohe Genauigkeit und ein hohes Verhältnis von Retikeln und Wafern gewährleistet, die diese Technologie in Anwendungen mit bis zu 23nm Auflösung verarbeiten kann. Die Mehrwellenlängenbelichtungsfähigkeiten des Schrittwerkzeugs ermöglichen die Abbildung mehrerer Schichten und Substrate mit Wellenlängenkombinationen, die von ultravioletter (UV) und extremer ultravioletter (EUV) Bildgebung reichen. Darüber hinaus bietet der Schichtgenerator und die OPC-Technologie (Dynamic Optical Proximity Correction) die Möglichkeit, die Musterbilder schnell zu analysieren und im Handumdrehen Korrekturen zu erstellen. Das Asset bietet dem Benutzer auch die Möglichkeit, je nach Anwendung und Konstruktionsanforderungen ein komplexes Array von Einstellungen wie Wafergröße, Mustergröße und Layer zu konfigurieren. ULTRATECH 1500 MVS enthält auch eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, um eine saubere Kammerumgebung zu erhalten und qualitativ hochwertige Bildgebungs- und Wafer-Schrittverfahren zu gewährleisten. Es bietet mehrere Schrittbewegungssteuerungsoptionen, einschließlich eines Positionsrückkopplungsmodells für die Genauigkeit, einer Motorsteuerungszentrale für das Motorarbeitsflussmanagement und einer Achssteuerungseinrichtung für die Koordinierung der Bewegung des Schrittbewegungssystems. Das Gerät bietet auch fortschrittliche Prozessanalysetechniken wie Prozesssteuerungssoftware für benutzerdefinierte Prozesseinstellungen. Um konsistente Ergebnisse und überlegene Qualität zu gewährleisten, verwendet 1500 MVS mehrere Sichtfelder, die kalibrierte Informationen aus der Bildverarbeitungsmaschine in den Controller einspeisen. Auf diese Weise kann der Benutzer alle Bereiche des Musters überprüfen und alle Prozessfehler erkennen, die behoben werden müssen. ULTRATECH 1500 MVS ist ein fortschrittliches Lithographie-Tool, das überlegene Bildauflösung, hohen Durchsatz und zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse bietet. Dieses Werkzeug ist ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und seine fortschrittlichen Funktionen machen es zu einem leistungsstarken und effektiven Werkzeug im Produktionsprozess.