Gebraucht ULTRATECH 1500 MVS #9188725 zu verkaufen

ULTRATECH 1500 MVS
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1500 MVS
ID: 9188725
Weinlese: 1997
Stepper 1997 vintage.
ULTRATECH 1500 MVS ist ein eigenständiger Wafer-Stepper, der speziell für hohe Volumen und kostengünstige Wafer-Retikel-Exposition entwickelt wurde. Der Stepper ist in der Lage, eine präzise Ausrichtung auf Merkmalsgrößen von bis zu 0,2 Mikrometer zu liefern. Es verfügt über ein einzigartiges Scan-Maske-Aligner-Design, das eine überlegene Gleichmäßigkeit der Beleuchtung über das gesamte Feld gewährleistet. Der Maskenkopf ist mit einer patentierten Lösung ausgestattet, dem SPL-Mechanismus (Scanning Position Lock), der die Genauigkeit der Waferausrichtung gewährleistet und die Gurt- und Verzerrungseffekte erheblich reduziert. 1500 MVS-System verfügt über eine mehrstufige indizierte Schrittplattentechnologie, die in der Lage ist, einen Durchsatz von 650 Wafern pro Stunde in einem Durchgang zu liefern, und eine hochstabile und verzerrungsarme Xenon-Quecksilberlichtquelle mit einstellbarer Leistung und Pulsbreiten. Dieses System hat eine Wiederholbarkeit von +/- 2 Mikrometer in allen Achsen, die für seine Klasse extrem präzise ist. Darüber hinaus kommt ULTRATECH 1500 MVS auch mit einer Vielzahl von leistungsstarken Funktionen wie AutoFieldAlign, die Echtzeit-Auto-Korrektur der Feldverzerrung ermöglicht; MultiFlash, die Programmierung von bis zu 20 Sequenzen von mehreren Belichtungen von einzelnen Beschichtungsplatten ermöglicht; und Adaptive Exposure, die mit einem fortgeschrittenen optischen Sensor die Waferausrichtung on-the-fly überwacht und die Beleuchtung automatisch entsprechend anpasst. 1500 MVS ist eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für die Wafer-Retikel-Exposition, insbesondere für die Anforderungen der Serienproduktion. Seine stabile Xenon-Lichtquelle sorgt für konsistente Beleuchtungsstufen, während seine flexiblen Programmieroptionen und Echtzeit-Auto-Korrektur-Funktionen für Genauigkeit und Wiederholbarkeit sorgen. Es ist das perfekte System für kurzfristige Projekte, häufige Produktwechsel und für die Herstellung hochwertiger Wafer-Reticles mit unschlagbarer Präzision.
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