Gebraucht ULTRATECH 1500 MVS #9229103 zu verkaufen
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ID: 9229103
Wafergröße: 6"
Stepper, 6"
TAZMO Robot, 6"
Reticle: 3x5
Resolution: 1.0u
HEWLETT PACKARD 362 Computer.
ULTRATECH 1500 MVS (MaskApply II Stepper Equipment) ist ein spezialisierter Wafer-Stepper für die direkte Abbildung von Photomasken, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Das System wurde entwickelt, um schnell und präzise Photomaskenmuster für den Einsatz in lithographischen Prozessen zu erstellen, die integrierte Schaltungen erzeugen. 1500 MVS ist in der Lage, 3 Würfel bei Auflösungen bis zu 2 Mikrometer zu produzieren. Es nutzt SynBit proprietäre Technologie für robuste Ausrichtung und Prozessautomatisierung. Das Gerät verfügt über eine hochpräzise Wafer-Handhabungsmaschine, ein antistatisches Steuerwerkzeug, ein Präzisionsstrahl-Neigungsverstellgerät und einen stellaren Bildprojektor. Das MaskApply II Stepper Modell wurde entwickelt, um den Anforderungen der Halbleiterprozessingenieure gerecht zu werden. Es verfügt über eine Reihe von Hardware- und Softwarekomponenten, die zusammenarbeiten, um eine Reihe komplizierter Bildgebungsprozesse zu erleichtern. Das Gerät bietet hohe Leistung und Konsistenz und erreicht einen Durchsatz von bis zu 2100 Wafern pro Stunde. Das MaskApply II Stepper System bietet mehrere erweiterte Funktionen für verbesserte Genauigkeit und Geschwindigkeit. Neben Neigungs- und Fokussystemen verfügt ULTRATECH 1500 MVS über ein integriertes optisches Mikroskop und einen fortschrittlichen Vakuumregler. Dieses integrierte optische Mikroskop ermöglicht die genaue Inspektion von Maskenmustern, bevor das Muster auf den Wafer gedruckt wird. Und der fortschrittliche Vakuumregler hilft, die Beanspruchung der Maske zu minimieren, während gleichmäßige Beleuchtung und Bildfokus beibehalten werden. Zusätzlich zu diesen Funktionen bietet 1500 MVS ein integriertes Softwarepaket, mit dem Anwender Prozessrezepte erstellen, analysieren und optimieren können. Weitere Merkmale sind eine Ausrichtungsverfolgungseinheit zur genauen Maskenpositionierung, vorgeladene Datenbanken zum Vergleich von Prozessrezepten und eine integrierte Partikelüberwachungsmaschine. Insgesamt ist ULTRATECH 1500 MVS ein leistungsfähiger und zuverlässiger Wafer-Stepper, der für den Betrieb in einer Vielzahl von Halbleiterprozessumgebungen geeignet ist. Das Tool bietet eine robuste Reihe von Funktionen und Funktionen, die es ideal für die direkte Abbildung von Photomasken und für lithographische Prozesse, die integrierte Schaltungen produzieren, machen.
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