Gebraucht ULTRATECH 1500 MVS #9256268 zu verkaufen

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Hersteller
ULTRATECH
Modell
1500 MVS
ID: 9256268
Weinlese: 1996
Stepper Robot handler, 6" (Upgradable to robot handler, 2"-8") 1996 vintage.
ULTRATECH 1500 MVS ist ein Wafer-Stepper oder eine Lithographie-Maschine zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Die Maschine verwendet einen Schritt-und-Wiederholungsprozess, um fein gemusterte Adhäsionsschichten und photoresistbeschichtete Substrate mit Teilegeometriemerkmalen und Strukturen von Submikrometer bis Makroskopie zu belichten. Das System verfügt über eine breite Palette von anwenderwählbaren Substratgrößen mit Autofokus-Fähigkeit, um Genauigkeit zu gewährleisten. 1500 MVS verwendet ein programmierbares zweiachsiges Scan-Bewegungssystem zur Maskenausrichtung und Messgenauigkeit über den gesamten Scanbereich. Seine fortschrittliche Scantechnologie und die daraus resultierende Stabilität ermöglichen die Exposition von kleineren und kleineren Funktionen auf Chips. Es bietet auch eine wirklich gleichmäßige Scan-Geschwindigkeit über den gesamten Scan-Bereich. Der Stepper ist mit einer auf Kathodenstrahlröhren basierenden Waferstufe ausgestattet, die eine Steigungsgenauigkeit von 20 bis μ m, einen Bewegungsbereich von 100 × 100 mm (oder größer) und Scangeschwindigkeiten von bis zu 500 mm/Sekunde ermöglicht und eine schnelle und präzise Positionierung und Ausrichtung von Wafern für die Lithographie ermöglicht. Die Maschine verfügt zusätzlich über eine Autofokus-Fähigkeit, die die Ausrichtgenauigkeit und Wiederholbarkeit weiter verbessert. Das Gesamtsystem ist modular aufgebaut und ermöglicht einfache individuelle Konfigurationen und eine schnelle Einrichtung. Das „schlanke Design“ reduziert zudem die Menge an unnötigem Teile- und Teileverschleiß und bietet eine zuverlässigere Maschine, die weniger Wartungszyklen durchführt und eine verbesserte Produktivität bei minimierten Ausfallzeiten bietet. Ein weiteres Merkmal von ULTRATECH 1500 MVS ist die verstellbare automatische Neigungspositionierung, die die Einhaltung verschiedener Substratoberflächen und -komponenten ermöglicht. Der Stepper ist auch für die Ausführung von bis zu 160 Wafern pro Stunde mit automatisiertem Be-/Entladen der Kassette und einem Barcode-Lesegerät ausgelegt, was eine hocheffiziente und präzise Lithographieleistung ermöglicht. Abschließend ist 1500 MVS ein ausgezeichneter Wafer-Stepper, der zuverlässige und wiederholbare Leistung bietet. Die Maschine ist extrem schnell, einfach einzurichten und kann mit ihren einstellbaren Neigungsfähigkeiten alle Arten von Substratgrößen handhaben. Es ist die ideale Maschine für jeden Lithographieprozess.
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