Gebraucht ULTRATECH 1500 MVS #9266754 zu verkaufen

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ULTRATECH 1500 MVS
Verkauft
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1500 MVS
ID: 9266754
Stepper.
ULTRATECH 1500 MVS ist ein fortschrittlicher Waferstepper, der für die Präzisionslithographie bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist Teil der UltraStepper Produktfamilie, die speziell entwickelt wurde, um Kosten zu reduzieren und den Durchsatz zu erhöhen und gleichzeitig höchste Genauigkeit und Qualität zu erhalten. Diese Ausrüstung verwendet 5-Achsen motorisierte Scanstufen und Hochgenauigkeits-Encoder, die die Stufenposition bei jedem Schritt messen und einstellen. 1500 MVS hat die Kapazität, Glassubstrate bis zu 156mm, lösungsmittel- und wärmebeständige Masken bis zu 4 "und eine Abtastgeschwindigkeit von bis zu 1500mm/s zu handhaben. Zur präzisen Ausrichtung der Bühne und Ausrichtung des Belichtungsbereichs in der X- und Y-Achse verwendet der Wafer-Stepper außerdem ein fortgeschrittenes Bewegungsrückkopplungs-Steuersystem. ULTRATECH 1500 MVS ist zudem mit einer zweiachsigen optischen Einheit ausgestattet, die eine präzise optische Ausrichtung von Maske und Substrat vor der Belichtung ermöglicht. Diese Maschine verwendet auch fortschrittliche Bildgebungsalgorithmen, um die Bewegung der Bühne während der Belichtung zu überwachen und anzupassen. 1500 MVS bietet eine breite Palette von Belichtungsmustern und verfügt über ein „intelligentes“ Edge-Fliesen-Tool, das mehrstufige Muster ermöglicht. Dieses Asset enthält auch einen programmierbaren Scan-Muster-Generator und unterstützt verschiedene Auflösungsstufen. Das Modell ist sowohl für Einzel- als auch für Mehrfachbelichtungen geeignet und kann 0,1 um Mustergenauigkeit und 0,001 um Kantenplatzierung erzeugen. Die Ausrüstung ist in der Lage, bis zu sechs Rezepte zu speichern, so dass es ideal für volumenstarke Umgebungen. ULTRATECH 1500 MVS wurde entwickelt, um den Kontakt zwischen bewegten Komponenten zu minimieren, wodurch die Stabilität erhöht und die Lebensdauer verlängert wird. Darüber hinaus verfügt der Wafer-Stepper über eine robuste konstruktive Konstruktion, die einen zuverlässigen Betrieb in industriellen Umgebungen ermöglicht. ULTRATECH bietet auch eine breite Palette von Zubehör und Verbrauchsmaterialien, um eine optimale Leistung der Maschine zu gewährleisten. Mit Funktionen wie einer verbesserten Schrittsteuereinheit, Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle, Inline-Partikelüberwachung und automatischer Auftragseingabe ist 1500 MVS das perfekte Werkzeug für diejenigen, die hochwertige Wafer-Muster produzieren möchten.
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