Gebraucht ULTRATECH 1500 MVS #9267164 zu verkaufen

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ULTRATECH 1500 MVS
Verkauft
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1500 MVS
ID: 9267164
Stepper With chuck, 6" Wafer handling: Autoloader, 6" (Cassette to cassette) Line resolution: 1.0 µm Depth of focus: Standard 3.0 µm at 1.0 µm lines Maximum square: 18 mm x 18 mm Maximum area: 34.2 mm x 13.6 mm Reticle size: 3" x 5" x 0.090" Alignment: WAS / MVS Computer: HP / HEWLETT-PACKARD 362.
ULTRATECH 1500 MVS (Multichannel Vibrating Sample) ist ein vollautomatischer, hochpräziser Wafer-Stepper für Halbleiterherstellung und Forschungsanwendungen. Diese Ausrüstung wurde entwickelt, um die mikroskopischen Eigenschaften von Wafern mit Submikron-Genauigkeit genau zu messen und kann konfiguriert werden, um eine Vielzahl von Substratgrößen und -formen zu handhaben. Die Maschine ist in der Lage, kristalline Strukturen, Dotierungskonzentrationen, Topographie, Oberflächenzusammensetzung, elektrische Eigenschaften und andere Parameter zu analysieren. Im Kern besteht das System aus drei Teilsystemen - Probenvorbereitung, Messung und Analyse. Die Probenvorbereitungseinheit ist die Schlüsselkomponente der Maschine und umfasst ein automatisiertes Nassätzwerkzeug sowie eine Reihe von Zubehörteilen für die Substratvorbereitung und -handhabung. Dieses Asset kann bis zu vier Wafer gleichzeitig verarbeiten und liefert gleichbleibende Qualität mit wiederholbaren Ergebnissen. Das Messteilsystem ist mit zwei planaren Antriebsstufen ausgestattet, um eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit beim Scannen des Substrats zu gewährleisten. Die Stufen sind in der Lage, Substrate auf einer größeren Fläche abzutasten, als dies mit dem Probenvorbereitungsmodell möglich ist, was eine detailliertere Analyse ermöglicht. Die Zuordnung erfolgt durch einen einachsigen Scanspiegel mit hohem Dynamikbereich und Präzision. Schließlich bietet das Analyse-Subsystem eine umfassende Nachbearbeitung von Messdaten, um die notwendigen Parameter für die Herstellung oder Forschung zu ermitteln. Die Daten können skaliert und verarbeitet werden, um Echtzeit- und 3D-Grafikdisplays zur Auswertung zu erstellen. 1500 MVS ist ein sehr vielseitiger und präziser Wafer-Stepper und mit seinen automatisierten Probenvorbereitungs-, Mess- und Analyseteilsystemen einfach zu bedienen. Die Konfiguration kann angepasst werden, um die Ausrüstung auf die Bedürfnisse spezifischer Anwendungen abzustimmen, und die grafischen Datendisplays sind hochinformativ und können schnell und einfach manipuliert werden, um präzise Messungen zu erzeugen. Mit seiner Kombination aus überlegener Leistung und Flexibilität bietet ULTRATECH 1500 MVS ein unvergleichliches Maß an Genauigkeit und Benutzerfreundlichkeit für Halbleiter- und Forschungsanwendungen.
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