Gebraucht ULTRATECH 1500 MVS #9306125 zu verkaufen

ULTRATECH 1500 MVS
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1500 MVS
ID: 9306125
Weinlese: 1996
Stepper 1996 vintage.
ULTRATECH 1500 MVS Wafer Stepper ist eine hochpräzise Maschine, die in der Lithographie und Kreislaufherstellung verwendet wird. Es ist entworfen, um Muster auf mehreren verschiedenen Arten von Halbleiterscheiben schnell und genau zu belichten. 1500 MVS ist eine 3-Achsen-Lithographiemaschine, die eine computergesteuerte Stufe mit einem Präzisionsbereich von + oder - 5 Mikron verwendet. Es verfügt über eine präzise 6-Achsen-Drehbewegungsstufe mit 0,5 Bogen zweiter Auflösung. Dadurch kann der Anwender Belichtung, Platzierung und Winkel des Lasers des Wafer-Schrittes genau steuern. ULTRATECH 1500 MVS verfügt über einen hochauflösenden Laser mit variabler Leistung (mit Wellenlängen bis 10,6 μ m), der Temperaturen bis 10.700 ° F erzeugt. Die Maschine verfügt auch über eine „Decke“ -Funktion, die hilft, Energieverluste aus dem Laser durch die Anpassung des Laserstrahls an die Wafergröße zu minimieren. Dadurch wird eine gleichmäßige Exposition gewährleistet. 1500 MVS Wafer Stepper ist in der Lage, schnell Muster mit hoher Treue zu belichten. Es kann Masken mit bis zu 10 Linien pro mm belichten. Darüber hinaus kann die Maschine Wafer mit Seitenverhältnissen von 0,1 bis 4,4 genau belichten. Die Maschine ist auch mit einem Mehrzonen- und einem Grob-/Feinausrichtungssystem ausgestattet und eignet sich somit ideal für Anwendungen mit unterschiedlichen Abstandsanforderungen. Das Ausrichtsystem trägt dazu bei, dass die Belichtungsbereiche auf den Wafern exakt ausgerichtet sind. Darüber hinaus verfügt es über Softwareprogramme, die es dem Benutzer ermöglichen, die Belichtungsparameter im Handumdrehen zu ändern. ULTRATECH 1500 MVS wurde entwickelt, um den Durchsatz durch eine schnelle Be-/Entladezeit und eine hohe Stufengeschwindigkeit (bis zu 0,3 mm/s) zu maximieren. Darüber hinaus wird die Maschine entwickelt, um verschiedene Wafergrößen und -muster effizient und präzise zu handhaben. 1500 MVS ist ein fortschrittlicher und zuverlässiger Wafer Stepper. Die computergesteuerte Stufe, der hochauflösende Laser, das Mehrzonenausrichtungssystem und die schnellen Be- und Entladefähigkeiten machen es ideal für Massenproduktionen.
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