Gebraucht ULTRATECH 1500 WAS #9293282 zu verkaufen
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Tippen Sie auf Zoom
ID: 9293282
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2007
Stepper, 6"
WAS Alignment can be upgrade to MVS
Wafer autoloader can be upgraded to TAZMO Loader
Reticle: 3x5 converted to 5x5
2007 vintage.
ULTRATECH, der 1500 WAR, ist eine fortgeschrittene Oblate Schritt-entworfen für Hochleistungshalbleiterintegrationsprozesse. Dieser Wafer-Stepper bietet ein automatisiertes Verfahren zur präzisen und schnellen Strukturierung mehrerer Halbleiterschichten mit Nanometerauflösung. Seine patentierte Technologie nutzt die integrierte Direct Scanning Technology (DST) zur Herstellung von Halbleiterchips mit extrem präzisen Eigenschaften und minimalem Platzmüll. 1500 WAS verfügt über eine hochauflösende automatisierte Musterausrüstung, die Muster mit 0,6 μ m Steigung und darüber hinaus verarbeiten kann. Es ist mit einem hochauflösenden optischen System mit einstellbarem Zoom ausgestattet, das eine automatische Fokussierung und Vergrößerung bis zu zwanzigmal ermöglicht. Der Stepper ist in der Lage, eine konstante Trajektorie und mehrere Belichtungen zu scannen. Dadurch wird sichergestellt, dass das resultierende Muster über Chips mit geringen Größenvariationen hinweg exakt dupliziert wird. Es ermöglicht auch schnellere Prozesszeiten und erspart kostspielige Anpassungen oder kostspielige Umrüstungen. ULTRATECH 1500 WAS ist hoch einstellbar und seine Hochgeschwindigkeits-Logikarchitektur ist für grobe und feine Bewegungen einstellbar. Die Dateneingabearchitektur ist automatisiert und ermöglicht eine schnellere und genauere Dateneingabe zur Verbesserung des Prozessdurchsatzes. Dieser fortschrittliche Stepper scannt Musterdaten mit Nanometer-Genauigkeit, was zu einer überlegenen Prozessleistung führt. 1500 WAS verfügt auch über eine fortschrittliche Kühleinheit, die die für die Waferbearbeitung erforderliche optimale Temperatur beibehält. Die Maschine ist auch mit einer Schwingungsisolationsplattform ausgestattet, die Anwendern eine geräuscharme Prozessumgebung bietet. Dieses Tool enthält auch erweiterte Diagnosetools, um Probleme während des Prozesses zu beheben. ULTRATECH 1500 WAS ist in der Lage, in der gesamten Palette von integrierten Prozessoptionen zu arbeiten, einschließlich Photolithographie, Hartätzen und Waferinspektion. Es ist auch in der Lage, andere Prozesstechnologien wie Sprungdrahtbonden und eine Vielzahl von lithographischen Frontend-Geräten zu integrieren. Diese integrierten Prozessoptionen machen zusammen mit den fortschrittlichen Funktionen 1500 WAS zu einer idealen Lösung für High-End-Halbleiterintegrationsprozesse.
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