Gebraucht ULTRATECH 1500 WAS #9302572 zu verkaufen

ULTRATECH 1500 WAS
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1500 WAS
ID: 9302572
Weinlese: 2010
Stepper 2010 vintage.
ULTRATECH 1500 WAS Wafer Stepper ist ein fortschrittliches Werkzeug zur Erzeugung von Photomasken mit sehr präzisen Eigenschaften für photolithographische Anwendungen. Dieses Werkzeug kann Merkmale von 15-150nm herstellen und eignet sich ideal für Halbleiterbauelementprozesse. Es besteht aus mehreren verschiedenen Subsystemen, darunter Scanner, Schrittmotor, Retikelstufen und Software. Der Scanner fungiert als Eingabegerät und Linsensystem und dient als Lichtquelle für den Stepper. Seine Präzisionsoptik verwendet UV-Strahlung, um eine gleichmäßige Lichtfleckengröße für den Wafer bereitzustellen, und ist einstellbar, um Energie zu sparen und gleichzeitig das notwendige UV-Licht für jeden Prozessschritt bereitzustellen. Zusätzlich kann der Scanner ein Retikel mit einer Größe von bis zu 2,25 Zoll-Quadrat scannen und ist auf Toleranzanforderungen einstellbar. Der Schrittmotor ist ein Schrittmotor mit Direktantrieb, der Positionsgenauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Es ist mit einem Trägheitsmotor ausgestattet, um eine reibungslose, vibrationsfreie Leistung beim Bewegen der Retikelstufe zu gewährleisten. Die Retikelstufe hält den Wafer an seinem Platz, während der Schrittmotor ihn in Schritten bis zu 1/10 Millimeter bewegt. Als nächstes verwendet 1500 WAS Wafer Stepper ein erweitertes Softwarepaket zur Steuerung des Steppers und der Lichtstufen für jeden Schritt im Prozess. Das Softwarepaket soll die Effizienz des Prozesses maximieren und die gesamte Zykluszeit reduzieren. Es ermöglicht den Betreibern, eine Vielzahl von Prozessen zur Erstellung von Photomasken auszuwählen, die von einer gleichmäßigen 4x-Reduktion bis zu einem sehr begrenzten Fokusbereich reichen. Darüber hinaus kann die Software die Einrichtung und Ausführung des Prozesses automatisieren, wodurch die manuelle Anpassung der Einstellungen entfällt. Schließlich bietet ULTRATECH 1500 WAS Wafer Stepper ein hohes Maß an Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Sein Trägheitsmotorsystem dämpft die Bewegung, während sein Schrittmotor mit Direktantrieb eine sichere Netzpositionierung gewährleistet. Darüber hinaus bietet seine präzise UV-Optik dem Wafer während des gesamten Prozesses eine konstante Lichtfleckengröße. Darüber hinaus ist 1500 WAS Wafer Stepper leicht in bestehende Halbleiterprozesse integriert, um die Effizienz zu maximieren. Abschließend ist ULTRATECH 1500 WAS Wafer Stepper ein fortschrittliches Werkzeug, das präzise Photomasken mit hoher Wiederholbarkeit herstellen kann. Seine Trägheits- und Direktantrieb-Schrittmotoren sorgen für eine genaue Netzpositionierung, während seine Präzisions-UV-Optik eine einheitliche Lichtpunktgröße für den Prozess bietet. Darüber hinaus ist 1500 WAS Wafer Stepper einfach in bestehende Halbleiterprozesse integriert und somit eine ausgezeichnete Wahl für photolithographische Anwendungen.
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