Gebraucht ULTRATECH 1500 #293597692 zu verkaufen

ULTRATECH 1500
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1500
ID: 293597692
Wafergröße: 5"
Stepper, 5" Convertible to 6".
ULTRATECH 1500 Wafer Stepper ist eine Präzisionsausrichtung und bildgebende Ausrüstung, die bei der Herstellung fortschrittlicher mikroelektronischer Geräte verwendet wird. Es bietet eine präzise Ausrichtung von Substraten und arbeitet sowohl in Inline- als auch in Batch-Konfigurationen. 1500 verwendet differentielle Mechanismen, die es dem Substrat ermöglichen, während der Ausrichtung und der Bildgebung stationär zu bleiben. Diese Funktion ermöglicht es, die Positionsgenauigkeit im Laufe der Zeit beizubehalten und mit jeder Aufgabe konsistente Ergebnisse zu liefern. Mit seiner eingebauten motorisierten z-Achse kann ULTRATECH 1500 wiederholbare und präzise Belichtungsschichten für Muster bereitstellen. Das automatisierte Rückbelichtungssteuerungssystem (RECS) stellt sicher, dass die Expositionsergebnisse den Industriestandards entsprechen. Das Gerät verfügt auch über eine Dual-View-Fähigkeit, die es ermöglicht, Operationen sowohl von oben als auch von unten auf dem Substrat zu betrachten. Darüber hinaus unterstützt 1500 eine breite Palette von Wafergrößen, von 200- bis 500-mm. Die integrierte, hochpräzise Spindelantriebsmaschine ermöglicht präzise Ausrichtungen unabhängig von Substratgröße und Material bis zur erforderlichen Maskierungsschicht. Die Maschine ist außerdem mit einer integrierten Hochgeschwindigkeits-Autofokuskamera ausgestattet, die es ermöglicht, ausserhalb der Ebene Dicken von weniger als 0,0005 mm zu erkennen. Die ULTRATECH 1500 nutzt die leistungsschwache Laserlichtquellenmesstechnik und ist auch in der Lage, die Partikeldetektion in situ zu integrieren. Das Tool verfügt auch über ein mehrschichtiges Wafer-Inspektions-Asset (MLWIS). 1500 verfügt über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche, die eine intuitive Methode zur Steuerung der verschiedenen Parameter des Modells und zur Überwachung der Ergebnisse bietet. So können Anwender die Geräte schnell einrichten und wertvolle Testeinblicke gewinnen. Sobald das System eingerichtet ist, können Daten zur späteren Überprüfung direkt in eine Datenbank exportiert werden. Insgesamt ist der ULTRATECH 1500 Wafer Stepper ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug für die anspruchsvollen Anforderungen der fortschrittlichen mikroelektronischen Geräteproduktion. Seine präzisen Ausrichtungs- und Bildgebungsfunktionen, kombiniert mit seinen automatisierten Funktionen, bieten eine zuverlässige und effiziente Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen.
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