Gebraucht ULTRATECH 1500 #9019176 zu verkaufen

ULTRATECH 1500 ist eine Art Wafer-Stepper, der zur Herstellung von Halbleiterbauelementen wie Computerchips verwendet wird. Es handelt sich um eine spezielle Ausrüstung für die einstufige Lithographie im Sub-Micron-Bereich. 1500 Wafer Stepper verwendet fokussiertes und energiereiches UV-Licht, das von einem spezialisierten Laserlichtbogensystem erzeugt wird. Mit diesem UV-Licht wird eine Photolackschicht belichtet, die auf die Oberfläche des Wafers gespritzt wurde. Der Wafer kann dann in einen chemischen Entwickler eingetaucht werden, um selektiv Mikrostrukturen aufzudecken, die in der Photolackschicht ausgebildet sind. ULTRATECH 1500 Wafer Stepper umfasst Ausrichtungen, Musterung, Overlay-Überwachung, Fokusausrichtung und Partikelkontrolle. Es hat auch eine obere Stufe, die einen Laserkopf-Rotator und einen Zentriermechanismus umfasst. Der Rotator ermöglicht die Bewegung des Lasers in x-, y- und z-Achsen für eine bessere Auflösung und Platzierungsgenauigkeit in den Merkmalen der endgültigen Mikrostruktur. Der Zentriermechanismus sorgt für eine exakte Ausrichtung des Lasers auf den Wafer. Das Gerät enthält auch eine Lichtquelle, die je nach Bedarf des Projekts eine Lampe oder ein Laser sein kann. Die Quelle ist mit einer Kollektivitätsgittermaschine gekoppelt, die es ermöglicht, das Licht in zwei Strahlen aufzuteilen, die dann im Belichtungsbereich des Schrittes konvergieren. Dadurch bleibt eine hohe Genauigkeit der Formelementplazierung auf dem Substrat erhalten. Ein erweitertes Bildgebungswerkzeug ist ebenfalls im Stepper enthalten. Dazu gehört eine CCD-Kamera, die vor, während und nach der Belichtung Bilder von jeder Mikrostruktur aufnimmt. Diese Bilder können dann mit einem Kalibrierrahmen verglichen werden, um die Genauigkeit und Qualität sicherzustellen; und kann verwendet werden, um die Größe und Form jedes KE zu messen. Weitere Merkmale von 1500 Wafer Stepper sind eine Partikelsteuerung, die Verunreinigungen aus der Luft entfernt, wodurch Verschmutzung des Photoresist und Funktionen. Durch die Verwendung eines OLP (Optical Low Pass Filter) ist der Stepper auch in der Lage, Verzerrungen durch eine Verringerung der Energieintensität, die zu unerwünschten Expositionsartefakten führen könnte, zu kompensieren. Schließlich enthält der Stepper auch ein hochgenaues Wafer-Handling-Modell, das eine schnelle und präzise Positionierung des Wafers über dem Muster ermöglicht. All diese Eigenschaften machen ULTRATECH 1500 zu einer ausgezeichneten Wahl für die Herstellung von Mikrochips.