Gebraucht ULTRATECH 1500 #9019700 zu verkaufen

ULTRATECH 1500 ist ein Wafer-Stepper, der die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterherstellung an die Platzierung von Bauelementen erfüllt. Der Stepper verwendet fortschrittliche Elektronenstrahl (E-Strahl) Lithographie-Werkzeuge, um hohe Ausrichtgenauigkeit und Wiederholbarkeit mit schnellen Durchsatzraten zu liefern. Das Gerät verfügt über eine lineare Motorstufe mit hoher Beschleunigung, die eine kurze Scanzeit bei hoher Auflösung und wiederholbarer Genauigkeit ermöglicht. 1500 verwendet auch ULTRATECH proprietäres Saber™-Alignment-System, um eine präzise x-y-Ausrichtung zu gewährleisten und gleichzeitig anspruchsvolle Durchsatzanforderungen zu erfüllen. ULTRATECH 1500 verfügt über eine M4K E-Strahlsäule mit einer Auflösung von 1-2 nm und einer Feldgröße von 450 mm x 450 mm. Diese einzelne E-Strahlsäule ist in der Lage, durchgehend lithographische Strukturen von 40 nm und darunter zu erzeugen. Um den Durchsatz weiter zu erhöhen und die Wendezeit zu reduzieren, bietet der Stepper auch eine selbstkalibrierende Einheit an. Diese Maschine kalibriert automatisch die M4K E-Beam-Säule und führt nach jedem Auftrag vor der nächsten Belichtung einen „Tuning“ -Vorgang durch. 1500 verwendet ein vollständig integriertes Wafer-Handling-Tool, das sensorlose Ausrichtung, virtuelle Ausrichtung und Fokusmessung integriert, um hohe Platzierungsgenauigkeit und Durchsatz zu erreichen. Durch den Einsatz proprietärer Embedded Alignment Tools kann der Stepper den Wafer selbstständig auf eine bekannte Referenz ausrichten, wodurch manuelle Ausrichtungsprozesse entfallen, die den Durchsatz reduzieren können. Das geschlossene Asset erleichtert zudem die Inline-Fokuskorrektur, automatisierte Waferausrichtung und kostengünstige Maskenänderungen. ULTRATECH 1500 ist hochgradig konfigurierbar und bietet verschiedene Optionen, um seine Leistung an die individuellen Produktionsanforderungen anzupassen. Zu den angebotenen Optionen gehören eine doppelte E-Beam-Spalte, eine Ultra-Large-Field-Option und SubSaber™ Sub-Sampling und Alignment. Eine erweiterte Leistungsplattform (Enhanced Performance Platform, EPP) ist ebenfalls verfügbar, so dass Benutzer die Scanzeiten reduzieren und die Auflösung und Genauigkeit erhöhen können. Neben seinen Eigenschaften ist 1500 auch äußerst zuverlässig und robust und liefert robuste Durchsatzqualitätsergebnisse. Die automatisierte Kalibrierung des Modells sorgt für wiederholbare Leistung, und die proaktive Sicherheitsfunktion der Plattform hilft, sensible Daten zu schützen. Der Stepper kann auch durch ULTRATECH Arsenal von Software- und Hardware-Optionen ergänzt werden, so dass die Ausrüstung auf eine Vielzahl von Anwendungsbedürfnissen zugeschnitten werden kann. ULTRATECH 1500 ist ein vielseitiger Stepper, der Halbleiterherstellern helfen kann, präzise Anforderungen an die Platzierung von Bauelementen schneller und zuverlässiger als je zuvor zu erfüllen. Die lineare Motorstufe mit hoher Beschleunigung verbessert die Platzierungsgenauigkeit und die Durchsatzraten, während die proprietäre Saber™-Ausrichtungseinheit sowie SubSaber™ Unterproben- und Ausrichtungsfunktionen dazu beitragen, manuelle Prozesse zu reduzieren. Die Maschine bietet auch eine Reihe von leistungssteigernden Optionen, so dass sie extrem anpassbar ist. Schließlich bieten die automatisierten Kalibrier-, Selbstausrichtungs- und Inline-Fokuskorrekturfunktionen des Steppers Herstellern die Sicherheit, dass ihre Geräte jedes Mal genau platziert werden.