Gebraucht ULTRATECH 1500 #9098777 zu verkaufen

ULTRATECH 1500
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1500
ID: 9098777
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1999
Stepper, 6" Currently de-installed 1999 vintage.
ULTRATECH 1500 Wafer Stepper ist eine hocheffiziente, hochpräzise Maschine für Halbleiterherstellungsanwendungen. Mit seiner fortschrittlichen optischen und bildgebenden Technologie ist es in der Lage, hochauflösende Photomasken und Waferlithographie mit 0,5 μ m Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erzeugen. Diese Maschine bietet eine Vielzahl von Funktionen und Fähigkeiten, wie eine 6-Zoll-Bewegungsstufe, einen mehrachsigen Motor und Linsenantrieb, ein automatisiertes Ausrichtsystem und eine integrierte Rahmen- und Bühnenbaugruppe. Alle diese Funktionen reduzieren drastisch Positionierungsfehler, Zeit zum Ändern der Masken und andere Setup-Operationen. Um seine Genauigkeit weiter zu erhöhen, ist 1500 mit einer 2D-Laser-Autofokus-Einheit ausgestattet, die sicherstellt, dass jeder Wafer auf den Strahl fokussiert wird, während er durchläuft. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine patentierte hochauflösende Dunkelfeldbildgebungsmaschine, die die Topographie der Oberfläche des Wafers genau erfasst. Dies reduziert das Streifenrisiko und ermöglicht es dem Benutzer, Oberflächen schnell zu lokalisieren und die Zielposition ohne Retikel zu lokalisieren. ULTRATECH 1500 verfügt über eine verzerrungsarme Optik und eine fortschrittliche und vielseitige Lichtquelle, mit der eine Vielzahl von Lithographieoperationen durchgeführt werden können. Die Maschine ist auch mit einem integrierten Werkzeug für den Wafertransport und die Bearbeitung ausgestattet, das sicherstellt, dass jeder Wafer genau und gleichmäßig belichtet wird. Schließlich verfügt 1500 über eine benutzerfreundliche Oberfläche, die es den Betreibern ermöglicht, die Einstellungen des Asset schnell und einfach zu programmieren und zu überwachen. Dieser fortschrittliche Wafer-Stepper ist sehr zuverlässig, flexibel und präzise und bietet Anwendern eine breite Palette von Funktionen für die anspruchsvollsten Halbleiteranwendungen.
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