Gebraucht ULTRATECH 1500 #9182694 zu verkaufen

ULTRATECH 1500 ist ein Wafer-Stepper der nächsten Generation, der speziell entwickelt wurde, um die Genauigkeit, den Durchsatz und die Komplexität der Substratverarbeitung für die Herstellung integrierter Schaltungen (IC) zu optimieren. Das Gerät verwendet fortschrittliche dynamische Bewegungssteuerungen, um Topografien auf dem Substrat genau zu scannen, auszurichten und zu fokussieren, um Fehlerwerte auf dem resultierenden Wafer zu reduzieren. Es ist mit einem 6-Achsen-dynamisch abgestimmten Luftlager für präzise Fokussierung und Bewegungssteuerung ausgestattet und ist in der Lage, die Platzierungsgenauigkeit von etwa 2 µm mit einer Auflösung von 1 µm oder besser. Das Gerät ist für die Weiterentwicklung der Halbleiterentwicklung mit seinem Präzisionsschrittmotor und einer umfassenden Suite von bildgebenden, musternden und lithographischen Fähigkeiten konzipiert. Es verwendet eine automatische Scanfunktion, um Waferdefekte schnell zu erkennen und zu beheben, wodurch eine überlegene Wafergenauigkeit gewährleistet wird. Der Motor arbeitet mit einer maximalen Drehzahl von 250 mm/s für maximalen Durchsatz. Um den schnellen Zugang zum Stepper zu erleichtern, wird 1500 auch mit einem großen automatisierten Lade- und Transportsystem ausgestattet. ULTRATECH 1500 ist mit einer Vielzahl von benutzerfreundlichen Funktionen wie automatische Wafer-Ausrichtung und Auto-Teaching entworfen, so dass eine einfache Bedienung und erheblich verkürzte Rüstzeiten. Seine Ultra-High-Speed-Sortierfunktionen können Mikrodefekte und polygonale Muster kategorisieren und verarbeiten und gleichzeitig maximalen Durchsatz bieten. Eine Musterbibliothek ermöglicht es Benutzern, schnell und präzise benutzerdefinierte Muster zu erzeugen. Das Gerät ist auch für höchste Substratzonierung, Qualitätskontrolle und Gleichmäßigkeit ausgelegt. Es ist mit einem ausgeklügelten optischen Kurzwellenlängenausrichtungssystem, anpassbaren Bildparametern und einem patentierten Belichtungsmesssystem (EMS) ausgestattet, um kritische Belichtungsprozesse mit einer Vielzahl von Belichtungspegeln zu messen. Darüber hinaus ist 1500 mit einem Redundanzschema ausgestattet, um die höchste Wafer-Scheduling-Effizienz zu gewährleisten. Abschließend ist ULTRATECH 1500 ein Premium-Wafer-Stepper, der für maximale Genauigkeit, Durchsatz und Komplexität in der Halbleiterentwicklung entwickelt wurde. Seine präzise Bewegungssteuerung, Bildparametrie, Musterbibliothek und optimierte Substratzonierung ermöglichen eine verbesserte Präzision und Qualitätskontrolle in der IC-Fertigung.