Gebraucht ULTRATECH 1500 #9188727 zu verkaufen

ULTRATECH 1500 ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper, der überlegene bildgebende Leistung und Produktivität bietet. Diese automatisierte Maschine ist für die Herstellung von IC-Bauelementen auf Halbleiterscheiben ausgelegt. Es verfügt über eine integrierte Motorantriebsausrüstung, die eine präzise Steuerung von Bildschritt und Zentrierung ermöglicht. 1500 ist in der Lage, verschiedene Wafergrößen von 6 bis 12 Zoll zu unterstützen. Es wurde entwickelt, um eine überlegene Reverse-Image-Treue bei niedriger und hoher Bildleistung zu erzielen. Dank der fortschrittlichen Technologien kann ULTRATECH 1500 einen schnelleren Durchsatz und eine verbesserte optische Leistung erzielen. 1500 besteht aus zwei Hauptkomponenten: einer Imaging Station und einer High-Precision Stage. Die Imaging Station enthält ein Source- und Projektionssystem, das eine kontinuierliche Laserdiode, einen Hochleistungsstrahl-Expander, eine High-NA-Projektionslinse und eine Autofokus-Einheit umfasst. Diese Abbildungsmaschine ist in der Lage, eine überlegene räumliche Auflösung von 20 nm zu erzielen. Die High-Precision Stage ist für die genaue Positionierung des Wafers verantwortlich, um eine korrekte Bildausrichtung und -abdeckung zu gewährleisten. ULTRATECH 1500 verfügt außerdem über eine fortschrittliche CCD-Kamera zur genauen Platzierung des Wafers und ein zweiachsiges Bewegungssteuerungswerkzeug, das eine präzise und wiederholbare Bewegung der Waferbühne ermöglicht. Um die Prozessstabilität und Wiederholbarkeit weiter zu verbessern, verfügt 1500 über eine integrierte Computeranlage mit Software, mit der Benutzer Belichtungsmuster, Bildsequenzen und Bildparameter programmieren können. Das bildgebende Modell verfügt auch über eine eingebaute messtechnische Ausrüstung zur Inspektion und Analyse von Wafern. ULTRATECH 1500 bietet hervorragende Leistung und ist auf die hohen Anforderungen der IC-Hersteller ausgelegt. Mit seinem robusten Design, dem hohen Durchsatz und der überlegenen Bildqualität eignet es sich gut für fortschrittliche Fertigungsprozesse von Halbleiterbauelementen.