Gebraucht ULTRATECH 1500 #9195910 zu verkaufen

ULTRATECH 1500
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1500
ID: 9195910
Stepper.
ULTRATECH 1500 ist ein Wafer-Stepper, der speziell für Lithographieanwendungen in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Das Gerät ist in der Lage, eine hochauflösende Strukturierung auf Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm zu erzeugen, wodurch größere integrierte Schaltungen hergestellt werden können. Mit einer Schrittweite von nur 3 Mikrometern ist 1500 in der Lage, komplizierte Muster und Geometrien mit großer Präzision und Genauigkeit zu erzeugen, was die Herstellung von Nanometermerkmalen ermöglicht. Darüber hinaus bietet das System eine Reduktionsrate von bis zu 5:1 und bietet Benutzern die Möglichkeit, extrem kleine Muster mit Funktionen von weniger als 1 Mikron zu produzieren. ULTRATECH 1500 verwendet eine 10:1 optische Zoomeinheit, um höchste Belichtungsgenauigkeit und Präzision zu erreichen. Dies wird mit der Laserinterferometrie kombiniert, um die Komponentenposition in allen sechs Freiheitsgraden zu erfassen, sodass alle Merkmale korrekt auf dem Wafer ausgerichtet und positioniert werden können. Die Maschine verwendet auch ein Dual-Autofokus-Werkzeug, um die Effizienz der Ausrichtung und Positionierung zu verbessern. 1500 nutzt fortschrittliche digitale Elektronik und fortschrittliche Softwarelösungen, die es Anwendern ermöglichen, hocheffiziente, maßgeschneiderte Belichtungsprogramme zu produzieren. Diese Programme bieten Benutzern die Möglichkeit, die Parameter für jeden Wafer wie Belichtungskraft, Geschwindigkeit und Fokus genau zu steuern. Darüber hinaus bietet die Software Benutzern Batch-Verarbeitungsfunktionen, so dass sie Zeit und Geld sparen können. ULTRATECH 1500 wurde entwickelt, um sehr zuverlässig und stabil zu sein und eine konstante Leistung über die Lebensdauer der Maschine zu gewährleisten. Alle Komponenten und Funktionen des Asset sind so aufgebaut, dass die maximale Betriebszeit und ein unterbrechungsfreier Betrieb gewährleistet sind. Zusätzlich führt das Modell eine Selbstdiagnose mit jedem Zyklus durch, so dass es mögliche Probleme vor der Exposition erkennen kann. Schließlich ist 1500 auf einen effizienten Betrieb und eine einfache Wartung zugeschnitten. Das Gerät integriert ein Roboter-Wafer-Handling-System, das das Be- und Entladen vereinfacht, während die automatisierten Umgebungskontrollen dafür sorgen, dass das Gerät innerhalb optimaler Leistungsparameter bleibt. Zusätzlich wird die Maschine mit Serviceanzeigen geliefert, die Techniker über anstehende Wartungsbedürfnisse informieren.
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