Gebraucht ULTRATECH 1500 #9244742 zu verkaufen

Hersteller
ULTRATECH
Modell
1500
ID: 9244742
Stepper With nitrogen.
ULTRATECH 1500 ist eine vollständig geschlossene Wafer-Schrittausrüstung mit einem einzigartig gestalteten mechanischen System, das eine stabile und genaue Leistung bietet. Diese Einheit ist in der Lage, Substrate im Bereich von 1 „(25mm) bis 4“ (100mm) zu verarbeiten und ist für den Betrieb einer Reihe von Prozessgasen wie Sauerstoff, Wasserstoff und Stickstoff ausgelegt. Sein innovatives Design verfügt über eine einzigartige Sub-Second-Positioniergenauigkeit, die eine einfache und konsistente Ausrichtung von Chips auf das Substrat ermöglicht. Zu den Hauptkomponenten der Maschine gehören eine mehrachsige Abtastplattform und ein Linearantriebsteilsystem bestehend aus Wechselstrommotor und Gleichantrieb-Linearantrieb. Diese Anordnung ermöglicht einen reibungslosen, präzisen und schnellen Betrieb mit einer Höchstendgeschwindigkeit von 600mm/s und einer niedrigen Beschleunigung von 4G. Die Genauigkeit des Werkzeugs wird durch die Rückkopplung des Encoders mit geschlossenem Kreislauf auf allen Achsen weiter verbessert, sodass das Element Bewegungen genau replizieren kann. Die Plattform wird durch fortschrittliche Software angetrieben, die eine präzise, automatisierte Ausrichtung der Geräte auf das Substrat und die effiziente Ausführung von Rezepten gewährleistet. Das Modell verfügt zudem über ein optionales Automatisierungspaket für automatisiertes Wafer-Laden und -Handling, wodurch ein Bediener keine Wafer manuell laden muss. Als Wafer-Stepper-Ausrüstung bietet 1500 auch die Möglichkeit, ein In-situ-Gasversorgungssystem zu integrieren, das eine On-the-Fly-Gasspülung, Entlüftung und Druckbeaufschlagung sowie eine In-situ-Laserablation für Zwecke der Fehleranalyse ermöglicht. Darüber hinaus kann das Gerät mit einem integrierten, erweiterten RTIP (Real Time Imaging Processor) ausgestattet werden, um eine Offline-Inspektion und Staging-Analyse zu ermöglichen. ULTRATECH 1500 ist eine ideale Maschine, um eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanforderungen zu erfüllen. Sein hochmodernes Design und seine fortschrittlichen Funktionen sorgen für zuverlässigen Durchsatz und qualitativ hochwertige Produkte. Dieses Tool eignet sich perfekt für Forschung, Kleinserienfertigung oder sogar Prototyping und liefert außergewöhnliche Qualität zu wettbewerbsfähigen Kosten.
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