Gebraucht ULTRATECH 1700 #293756046 zu verkaufen

ULTRATECH 1700 ist ein spezialisierter Wafer-Stepper, der bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist für eine präzise, leistungsstarke und wiederholbare lithographische Abbildung von Wafern ausgelegt. 1700 verwendet eine präzise, motorisierte Quarz-Uni-Achsen-Stufe für Wafer-Stufen, um Wafer in der Vakuumkammer des Steppers genau zu positionieren. Präzision wird mit einer Kombination von Encodern und linearen Encodern erreicht, deren Auflösung besser als 0,1 Nanometer ist. Der Stepper verfügt über eine weltweite Scan-Bereich-definierende Ausrüstung, mit der die maximale Anzahl von Mustern verarbeitet werden kann, bevor das System zurückgesetzt werden muss. ULTRATECH 1700 bietet auch anwenderwählbare, hochauflösende optische Ausrichtung und Overlay. Dies ermöglicht eine Musterregistrierungsgenauigkeit, die unterhalb der kritischen Bemaßung oder Breite der Linie im Muster liegt. Darüber hinaus ermöglichen die messtechnischen Fähigkeiten von thestepper anspruchsvolle Funktionen wie verbesserte Registrierung, Tonhöhe, Linienbreite und Funktionsmessung. 1700 ist mit einer dynamischen Multi-Wellenlängen-Expositionseinheit ausgestattet, die eine breite Palette von Belichtungen für verschiedene Photoresist-Materialien ermöglicht. Die Belichtungsmaschine liefert Hochgeschwindigkeitsbelichtungen mit zuverlässiger und intensiver Beleuchtung. ULTRATECH 1700 ist für eine effiziente Waferbearbeitung mit optimierter Bearbeitungszeit konzipiert. Die Verwendung von Feld-Gleichmäßigkeitskorrektur, verbesserte Resistprofilglättung und schneller Durchsatz ermöglichen es Benutzern, die Verarbeitungszeit zu reduzieren und die Photomaskenausbeute zu verbessern. 1700 ist auch mit erweiterten Verarbeitungswerkzeugen oder Mustertreue ausgestattet. Mit seinem integrierten Wafer-Toning-Tool kann der Estepper eine verbesserte Musterauflösung und eine verbesserte Kantenrundung des Leitermusters bereitstellen. Darüber hinaus werden Prozessmodule mit Kantenerhaltung, Gate-Kollaps-Prävention und Belichtungskorrektur verwendet, um die Bildtreue zu verbessern. Das Vier-Elemente-Korrektur-Asset von ULTRATECH 1700 ermöglicht eine verbesserte Mustertreue und Bildstabilität. Das Modell verfügt über eine servogesteuerte, aktive Spiegeleinstelleinrichtung für hochgenaue Aberrationskorrekturen. 1700 wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen der schrittweisen Anwendung zu erfüllen. Mit seinen ausgeklügelten bildgebenden Fähigkeiten, der verbesserten Messtechnik sowie der präzisen Bühnenbewegung und Systemregistrierung bietet thestepper umfangreiche Lithographiefähigkeiten für die Waferbearbeitung.