Gebraucht ULTRATECH 2244i Series #293628682 zu verkaufen
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ID: 293628682
Wafergröße: 4"-8"
Stepper, 4"-8"
G&H Line optics
Lamp, 1000 W
Extended focus option for thick resist exposure capability
GENMARK Robot
Reticle, 5" (Capable of upgrading to 6")
Reticle barcode reader
COGNEX Machine Vision System (MVS)
Maximum FOV: 44 mm x 26.7 mm
Numerical aperture: 0.32
Auto aperture.
Die ULTRATECH 2244i Serie ist ein hochmoderner Wafer-Stepper für die fortschrittlichsten photolithographischen Prozesse. Es verfügt über eine sehr zuverlässige, Full-Size-Wafer-Bühne, um eine maximale Wafergröße von 200 mm zu handhaben. Das System bietet durch sein fortschrittliches, einachsiges Scanner-Design eine hervorragende Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Der zweistufige Scanner nutzt 0,74 NA-Projektionsoptiken und liefert sowohl hochauflösende als auch Hochgeschwindigkeits-Scans mit Strahlpositionierungsgenauigkeiten von bis zu 1 Nanometer. ULTRATECH 2244i ist auch in der Lage, verschiedene Belichtungsfeldgrößen und Belichtungszeiten zu scannen, so dass es für eine Vielzahl von Photolithographieverfahren geeignet ist. ULTRATECH 2244i nutzt auch seine fortschrittliche Optik, um verschiedene Scanmodi bereitzustellen, einschließlich Step-and-Repeat, Continuous Line und Area Raster Scanning. Es automatisiert auch Linsenausrichtungs-, Belichtungs- und Zoomeinstellungen, um konsistente und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Das System verfügt über ein benutzerfreundliches Bedienfeld mit einer 10-Zoll-Touchscreen-Oberfläche, die eine intuitive grafische Benutzeroberfläche anzeigt. Dadurch lassen sich zahlreiche Scan- und Belichtungsparameter schnell einrichten, Batch-Verarbeitung und archivierte Belichtungseinstellungen. Der Benutzer kann auch Belichtungsrezepte erstellen und in der Bibliothek des Scanners speichern. ULTRATECH 2244i bietet auch viele Prozessunterstützungs-Tools, darunter mehrere Modi der Backside-Verarbeitung, automatisierte Fokuserkennung und Ausrichtungsgenauigkeitskontrolle. Es ist vollständig kompatibel mit der ULTRATECH Prozesssteuerungssoftware und bietet zusätzliche Prozesssteuerungs- und Simulationsfunktionen. Darüber hinaus verfügt ULTRATECH 2244i über ein erweitertes Montagerobotermodul, das ein schnelles und effizientes Wafer-Handling ermöglicht. Es hat auch eine optionale Reinkammer für ein effektives Schadstoffschutzsystem. Insgesamt bietet ULTRATECH 2244i Anwendern ein leistungsstarkes und präzises Werkzeug für die Photolithographie.
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