Gebraucht ULTRATECH 2244i #9182056 zu verkaufen

ULTRATECH 2244i Wafer Stepper ist ein Präzisions-Lithographie-Tool mit beispielloser Genauigkeit für die Abbildung von Wafern. Dieses vielseitige Gerät verfügt über ein Schritt-und-Wiederholmikroskop mit einem Excimerlaser zur Mask-zu-Wafer-Ausrichtung und einem Präzisionsschrittmacher für hochauflösende Bildgebung. Unter Verwendung eines Zeiss-Optiksystems, eines fortschrittlichen lithooptischen Designs und zweckbestimmter Komponenten ist 2244i in der Lage, die kompliziertesten Muster mit Bildauflösungen bis zu 20 nm zu erzeugen. Das Gerät entspricht allen Industriestandards und bietet einen zuverlässigen Betrieb für die 24/7-Produktion von Waferanwendungen. ULTRATECH 2244i ist mit einer direkt angetriebenen, motorisierten Maskenstufe zur präzisen und wiederholbaren Ausrichtung und Überlagerung von Mustern und einer präzisen Bewegungseinheit für Wafer-Stufen ausgestattet, die ein hohes Maß an Automatisierung und Wiederholbarkeit gewährleisten. Unter Verwendung eines direkt angetriebenen motorischen Tisches mit zwei Paaren von gegenüberliegenden linearen Bewegungsaktuatoren ist die Plattform in der Lage, eine hervorragend genaue Bewegung mit „federartiger“ Bedienung und schneller Präzision und Reproduzierbarkeit zu erreichen. Darüber hinaus ist ein „Head-on“ -Ausrichtungsscanner enthalten, um eine ordnungsgemäße Bildausrichtung und -registrierung sicherzustellen. 2244i verwendet hochwertige optische Komponenten, einschließlich optimierter Abbildungsoptiken, Reflektoren, Öffnungen und Kondensoren, um eine hervorragende Leistung und Genauigkeit zu gewährleisten. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie mit ihrer Brennweite von 160 mm und ihrem Arbeitsabstand von 254 mm hervorragend Platz bietet und somit kompatibel mit einer Vielzahl von Wafergrößen und -geometrien ist. Das Optikwerkzeug ist mit einem integrierten stabilisierten optischen Weg ausgestattet, um einen minimalen Einfluss durch Umweltschwankungen zu gewährleisten. Zur präzisen Ausrichtung und Überlagerung von Mustern auf der Netzhaut des Wafers mit Abtastöffnungen bis zu 2 Mikrometer ist eine integrierte Laserausrichtungsanlage enthalten. Das PC-basierte, benutzerfreundliche digitale Steuergerät des Modells ermöglicht eine präzise Anpassung aller bildgebenden Parameter, einschließlich Belichtungszeit, Laserleistung und Verschlusszeit. Dies sorgt für hervorragende Bildtreue und Wiederholbarkeit über das gesamte Substrat. Insgesamt ist ULTRATECH 2244i Wafer Stepper ein fortschrittliches Lithographie-Tool, das für eine Reihe von Anwendungen mit Präzision und Wiederholbarkeit entwickelt wurde. Seine vielseitige Konfiguration ist ideal für komplizierte Muster auf Substraten zu schaffen, bietet hervorragende Genauigkeit und Bildauflösung.