Gebraucht ULTRATECH 2244i #9397143 zu verkaufen

ULTRATECH 2244i Wafer Stepper ist eine automatisierte Waferbearbeitungsanlage für die Einzelwaferbearbeitung bis zu 6 Zoll. Der Schrittmotor verwendet Schrittmotortechnologie, die sehr genaue und wiederholbare Belichtungszeiten ermöglicht. Das Schrittsystem enthält auch Funktionsgrößen bis zu 5 Mikrometer mit einer Auflösung in der Größenordnung von 0,1 Mikrometern. Die Hauptkomponenten des Geräts sind: Schrittmotor, Bildgeber, Wafer-Handler, Fokussierer, Kollimator und Verschluss. Der Schrittmotor besteht aus einer Regelmaschine, Motoren und Motorantrieben und Encodern, um die Stufen während der Belichtungszeiten genau zu positionieren. Die Encoder registrieren die Bildposition, was sehr genaue und wiederholbare Belichtungszeiten ermöglicht, während der Wafer-Handler bis zu 200mm Wafer halten kann. Der Fokussierer verwendet einen zweiachsigen Mechanismus, der eine gleichmäßige Fokussierung über das gesamte Expositionsfeld gewährleistet. Der Kollimator ist vakuumgekühlt und entworfen, um die unerwünschte Belichtung von Musterkanten zu minimieren und auch die Auflösung von Musterbelichtungen zu erhöhen. Der Verschluss ist elektronisch betätigt und soll knackige Bilder gewährleisten und Bildüberschneidungsartefakte minimieren. 2244i ermöglicht High-End, hochgenaue Strukturierung von Schaltungen für die anspruchsvollsten Anwendungen. Dieser Stepper ist kompatibel mit Standardprozessen wie Elektronenstrahl-Lithographie (EBL), Deep Ultraviolet (DUV), Ultraviolett (UV) und E-Beam Writer (EBW). Sowohl manuelle als auch automatische Methoden der Datenverarbeitung stehen zur Verfügung, sowie Software, die eine engmaschige Steuerung der Stepper-Konfiguration ermöglicht. Sicherheitsmerkmale sind integriert, um sowohl den Bediener als auch den Schrittschalter zu schützen, wie z. B. Sicherheitsverriegelungen, Notstopp und einen akustischen Alarm und einen externen Timer. Das Werkzeug ist auch mit Stromrauschen und Störschutz, Kurzschlussschutz sowie Übertemperaturregelung ausgelegt. ULTRATECH 2244i Wafer Stepper ist ein gut konzipierter und leistungsstarker Single-Wafer-Prozessor für anspruchsvolle Anwendungen. Das Asset verfügt über hochauflösende und präzise Belichtungszeiten aufgrund seiner anspruchsvollen Schrittmotorstufen und Encoder. Es ist auch mit Sicherheitsfunktionen wie Not-Aus und Alarm konzipiert und bietet eine sichere und zuverlässige Lösung für die Waferbearbeitung. Die hohe Leistung und Zuverlässigkeit des Modells machen es zu einer idealen Lösung für die anspruchsvollsten Anwendungen.