Gebraucht ULTRATECH 2700 #9312331 zu verkaufen

ULTRATECH 2700 Wafer Stepper ist eine automatisierte und computergestützte Lithographieanlage für Halbleiterprodukte. Es wurde speziell entwickelt, um dünne Folienschichten auf einen Wafer aufzubringen und den Wafer durch eine Reihe von Objektiven und bildgebenden Systemen mit einer Vielzahl von Filmtypen und -einstellungen voranzubringen. 2700 hat ein Sichtfeld von 12 x 12 Zoll und eine Schärfentiefe von ± 3,5 μ m. Es ist in der Lage, Belichtungszeiten von 1 bis 20 s, so dass es für verschiedene Anwendungen geeignet. Zu den Hauptkomponenten des ULTRATECH 2700 Wafer Stepper gehören ein Projektor, ein Objektivsatz, ein Pod, eine Waferkassette, ein Schrittkopf und ein Steuercomputer. Der Projektor ist für die Projektion des Musters auf den Wafer verantwortlich, und das Linsensystem wird verwendet, um die Größe des Sichtfeldes zu variieren. Der Schrittkopf ist dafür verantwortlich, den Wafer präzise über das Sichtfeld zu bewegen. Der Pod dient zum Austausch von Wafern zwischen Kassette und Schrittkopf. Mit der Waferkassette wird der Wafer während der Verarbeitung gehalten. Schließlich ist der Steuerrechner für die Steuerung der Bewegung des Wafers und die Steuerung der Belichtung des Films verantwortlich. 2700 Wafer Stepper ist in der Lage, Wafer bis 8 Zoll Durchmesser zu verarbeiten, und ist in der Lage, Geschwindigkeiten von bis zu 3,6 Hz (3,6 Belichtungen/Sekunde). Es kann mehrere Wafergrößen verarbeiten und seine fortschrittliche Steuereinheit sorgt für eine präzise Ausrichtung während der Belichtungen. Seine integrierte Diagnosemaschine überwacht die Exposition und gibt Feedback zu allen Problemen. Das fortschrittliche Thermomanagement-Tool sorgt dafür, dass die Anlage während des gesamten Prozesses thermisch stabil bleibt. Schließlich enthält ULTRATECH 2700 Wafer Stepper eine Reihe hilfreicher Funktionen, wie ein Kalibrierungsverfahren, das die Streuung durch falsche Fokusanpassung reduziert, und eine Auto-Create-Option, mit der der Benutzer das Modell schnell für einen bestimmten Job einrichten kann. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Folientypen zu handhaben, einschließlich in-situ defokussierte Prozessfolien und Trockenprozessfolien. Insgesamt ist 2700 Wafer Stepper eine fortschrittliche, automatisierte, computergestützte Lithographieausrüstung, die speziell für die Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Es ist in der Lage, Wafer bis zu 8 Zoll Durchmesser zu verarbeiten und bietet eine hohe Präzision und Genauigkeit über eine Reihe von Belichtungszeiten. Sein fortschrittliches Steuerungssystem sorgt für eine präzise Ausrichtung während der Expositionen, während seine hilfreichen Funktionen, wie die Auto-Create-Option, dazu beitragen, die Zeit für die Einrichtung von Jobs zu reduzieren.