Gebraucht ULTRATECH AP 300 #9248655 zu verkaufen

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ULTRATECH AP 300
Verkauft
Hersteller
ULTRATECH
Modell
AP 300
ID: 9248655
Weinlese: 2012
Stepper No back side alignment (BSA) 2012 vintage.
ULTRATECH AP 300 Wafer Stepper ist einer der fortschrittlichsten Wafer Stepper heute erhältlich. Es wurde entwickelt, um eine ultrapräzise Strukturierung von großvolumigen Wafern auf Nanometerebene zu ermöglichen. Das Gerät ist mit einer hochpräzisen Membranpumpe ausgestattet, die auch bei hohen Prozessraten ein Höchstmaß an Genauigkeit und Wiederholbarkeit gewährleistet. Die große Bühnengröße des Systems ermöglicht die Strukturierung großer Proben mit hohem Durchsatz und die genaue Positionierung des gesamten Funktionssatzes des Wafers, der gemustert werden soll. ULTRATECH AP300 verfügt über eine fortschrittliche Bewegungssteuerungsplattform mit offener und geschlossener Steuerung, die eine maximale Kontrolle über die Wiederholbarkeit und Präzision des Geräts ermöglicht. Die Maschine verfügt zudem über ein ultrapräzises Laserinterferometer zur Positionsrückmeldung sowie über ULTRATECH patentierte PWM-Motoren (Pulse Width Modulation) zur ultrapräzisen Drehzahlregelung. Dies ermöglicht eine genaue, wiederholbare Strukturierung im Nanometermaßstab über die gesamte Waferoberfläche. AP 300 verwendet ein umfangreiches Feature-Set, das die schnelle Einrichtung von Prozessen ermöglicht. Es ist kompatibel mit mehreren Lithographietechniken, einschließlich UV, KrF, E-Strahl und mehr. Das Werkzeug kann verwendet werden, um Musterätzungen zu richten, kritische Bemaßungen zu definieren, Muster in 3D zu erzeugen und vieles mehr. Es verwendet auch ein automatisiertes Mustererstellungsobjekt, mit dem Benutzer schnell neue Prozesse konfigurieren können. AP300 umfasst auch mehrere Sicherheits- und Umweltmerkmale. Das Modell beinhaltet Sicherheitsausschnitte, so dass es automatisch heruntergefahren werden kann, wenn etwas schief geht, sowie Vorsichtsmaßnahmen zur Minimierung von Umweltschadstoffen. Darüber hinaus führt das Gerät automatisch eine regelmäßige Wartung durch, z. B. Reinigung und Überprüfung auf Verschleiß, wodurch die Lebensdauer des Systems verlängert wird. Insgesamt ist der ULTRATECH AP 300 Wafer Stepper eine leistungsstarke, zuverlässige und hochpräzise Einheit, die eine branchenführende Musterpräzision auf großen Oberflächen bietet. Seine fortschrittliche Bewegungssteuerungsmaschine ermöglicht eine unglaublich wiederholbare und präzise Positionierung von Funktionen, während sein automatisiertes Werkzeug zur Mustererstellung und Sicherheitsfunktionen dafür sorgen, dass Prozesse schnell und sicher ausgeführt werden. ULTRATECH AP300 ist in der Lage, die Mustergenauigkeit auf Nanometerebene zu erreichen und eignet sich ideal für die schnelle und genaue Strukturierung großer Wafer.
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