Gebraucht ULTRATECH AP200 #293630413 zu verkaufen

ULTRATECH AP200 ist ein mehrdimensionaler, hochpräziser Wafer-Stepper für die genaue Lithographie bei der Herstellung integrierter Schaltungen. Diese innovative Maschine ist in der Lage, Muster auf Wafern mit einer Auflösung von 400 nm mit einer direkten Bildgebungstechnik mit präziser Wiederholbarkeit genau anzuordnen. ULTRATECH AP 200 ist mit einer zweidimensionalen Stufe ausgestattet, die in der X-, Y- und Z-Achse bewegt werden kann. Diese Stufe wird von drei direkten Antriebsmotoren betätigt, die präzise und leise sind und eine effiziente Positionierung des Wafers ermöglichen. Der Stepper verfügt außerdem über einen doppelten Prozesscontroller, mehrere Vollbildbereiche und ein feldprogrammierbares Gate-Array (FPGA). Alle diese Komponenten arbeiten zusammen, um die für einen erfolgreichen Lithographielauf notwendige hochpräzise Ausrichtung, Präzisionsüberlagerung und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Neben der präzisen Bewegungssteuerung ist AP200 auch mit fortschrittlichen bildgebenden Funktionen ausgestattet. Es verfügt über eine Vollbild-Interline-Transfer-CCD (Charge-Coupled Device) -Kamera und ein Array von Leuchtdioden (LEDs), die eine genaue Abbildung bei verschiedenen kleineren Feldgrößen bieten. Die LEDs können ein- und ausgeschaltet werden, um zwischen verschiedenen Belichtungsfeldgrößen zu wechseln, während die Kamera zur Überwachung der gesamten Fläche dient, um sicherzustellen, dass keine Fehler gemacht werden. Um höchste Genauigkeit bei Lithographieläufen zu gewährleisten, ist AP 200 auch mit einer Vielzahl fortschrittlicher Messtechnik und Wafer-Handling-Funktionen ausgestattet. Dazu gehören Autofokus und automatische Ausrichtung, um sicherzustellen, dass Muster genau auf dem Wafer ausgerichtet sind. Es hat auch einen Wafer-Handhabungsmechanismus, der es erlaubt, Wafer präzise zu platzieren und zu entfernen, ohne dass Beschädigungen oder Kontaminationen auftreten. Zusammenfassend ist ULTRATECH AP200 ein mehrdimensionaler, hochpräziser Wafer-Stepper, der für die genaue Lithographie bei der Herstellung integrierter Schaltungen entwickelt wurde. Es verfügt über präzise Wiederholbarkeit, eine zweidimensionale Bühne, erweiterte Bildgebungsfunktionen, eine Full-Frame-Interline-Transfer-CCD-Kamera, eine Reihe von LED-Leuchten, Autofokus und automatische Ausrichtungsfunktionen sowie einen sicheren und effizienten Wafer-Handhabungsmechanismus. All diese Funktionen machen es zu einer idealen Lösung für alle Lithographie-Bedürfnisse.