Gebraucht ULTRATECH LC 37 #9036437 zu verkaufen

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ULTRATECH LC 37
Verkauft
Hersteller
ULTRATECH
Modell
LC 37
ID: 9036437
Stepper, 2" Manual chuck.
ULTRATECH LC 37 ist ein multifunktionaler und kostengünstiger Wafer-Stepper, der eine leistungsstarke lithographische Präzision und überlegene Ausstattungssicherheit bietet. Das System wurde speziell entwickelt, um die Anforderungen der Serienumgebung zu erfüllen. Es bietet hochauflösende Bildgebung, genaue Musterung auf 6-Zoll-Wafern und zuverlässige und wiederholbare Leistung bei jeder Belichtung. Die ausgeklügelte Software bietet durch ihre grafische Benutzeroberfläche einfach zu bedienende Design-, Ausrichtungs-, Mess- und Belichtungsfunktionen. Die Benutzeroberfläche führt den Bediener durch den gesamten Prozess, mit intuitiven Funktionen und Einstellungen, so dass genaue Muster in kürzerer Zeit und mit weniger Fehlern erstellt werden können. Es bietet auch erweiterte Funktionen wie Auftragsplanung, Fehlanpassung und eine Reihe von optischen Einstellungen wie Auto Bright Field und Auto Tone Control. Das Gerät ist mit einer fortschrittlichen Wafer-Handhabungsmaschine ausgestattet, die die Belichtung von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 12 Zoll ermöglicht. Das patentierte Werkzeug verwendet einen einzigartigen Luftlager-Förderbetrieb, der zu sehr genauen und wiederholbaren Bewegungen sowohl in der X- als auch in der Y-Achse führt. Es bietet auch ein zweistufiges Positioniergerät, das einen 6-Zoll-Wafer mit einer Positioniergenauigkeit von 3 μ m präzise und wiederholt von der Kassette in den Belichtungsbereich liefern kann. Zusätzlich wird das Modell von einer Hochleistungslichtquelle für ausgezeichnete Belichtungsgleichförmigkeit angetrieben. Sein gepulster UV-Laser sorgt für eine gleichmäßige Belichtung über den gesamten Wafer. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass durch die Beseitigung von Ungleichmäßigkeit die größte Auflösung erreicht wird. Die Leistung des UV-Lasers und die Dunkelheit der Wände machen ihn zur perfekten Wahl für volumenstarke Belichtung. Dieser Wafer Stepper verfügt auch über eine halboffene Architektur und eine modulare Ausstattung, die die Flexibilität der Aufrüstbarkeit bietet, wenn die neueste Technologie entsteht. Es ist in der Lage, mit externen Tools für fortschrittliche lithographische Anforderungen sowie umfassende Programmier- und Kommunikationsmöglichkeiten zu integrieren. Darüber hinaus verfügt es über einen umfassenden Satz wesentlicher Lithographie-Prozesswerkzeuge wie automatische Ausrichtung, Brennpunktbestimmung sowie Elektronensäulenmesstechnik. Insgesamt ist LC 37 eine hervorragende Lösung für Anwendungen mit hohem Volumen und bietet überlegene Leistung und Zuverlässigkeit. Die Funktionen und Funktionen des Systems bieten hervorragende Leistung, Genauigkeit und Kosteneffizienz, sodass Unternehmen Ausfallzeiten minimieren und den Durchsatz und die Produktionserträge effizient maximieren können.
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