Gebraucht ULTRATECH LSA 100 #9298839 zu verkaufen

ULTRATECH LSA 100
Hersteller
ULTRATECH
Modell
LSA 100
ID: 9298839
Laser spike annealer.
ULTRATECH LSA 100 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der eine präzise und genaue Ausrichtung auf eine Vielzahl von Substraten und Wafergrößen ermöglicht. ULTRATECH LSA100 ist ein hochpräzises Positioniergerät mit einer überlegenen linearen Gleitbaugruppe und einem Drehgeber für genaue Winkelpositionierung. Es ist ein vollautomatisches Werkzeug, das in der Lage ist, Photolithographie und Belichtung mit mehreren Substraten oder Wafern durchzuführen. Das System bietet einen hohen Durchsatz, eine ausgezeichnete Positioniergenauigkeit und eine einzigartige Bild- und Prozesskontrolle. Das Gerät verwendet eine patentierte Magnetliftmaschine, um während der verschiedenen Prozessvorgänge kontrollierte, gleichmäßige Bewegungen zu erreichen. Das Tool verfügt zudem über eine einzigartige, hochauflösende und robuste Laser-Interferometer-basierte Ausrichtungskomponente, die eine präzise und konsistente Ausrichtung zwischen dem Modell und dem Wafersubstrat gewährleistet. Das Gerät unterstützt eine Vielzahl von Wafergrößen, darunter 4 „und 6“ runde Substrate. Darüber hinaus arbeitet das System mit einer Vielzahl von optischen Abbildungssystemen, so dass es ideal für die Belichtung bei verschiedenen Wellenlängen und Auflösung. LSA 100 bietet zudem eine ausgeklügelte Prozesssteuerung, mit der Anwender die Belichtungsprozesse präzise steuern können. Diese Maschine unterstützt mehrere Belichtungen auf demselben Substrat, um Schwankungen der Belichtungszeit oder Energieintensität zu ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine erweiterte 3D-Messanlage, mit der Benutzer die Belichtungsparameter nach Bedarf anpassen und optimieren können. LSA100 verwendet fortschrittliche Automatisierungstechnologien, um eine präzise, wiederholbare und genaue Verarbeitung zu gewährleisten. Sein programmierbares Bewegungssteuermodell ermöglicht es Benutzern, die Vorteile einer fortschrittlichen bildbasierten Prozesssteuerung zu nutzen. Das Gerät verfügt zudem über ausgeklügelte Reporting-Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, die verschiedenen Prozessparameter während der Produktion zu überwachen. Insgesamt ist ULTRATECH LSA 100 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der Anwendern eine überlegene Präzision und Genauigkeit auf einer Vielzahl von Substraten und Wafergrößen bietet. Sein magnetisches Aufzugssystem, seine Laser-Interferometer-basierte Ausrichteinheit, seine Prozesssteuerungsmaschine und seine fortschrittlichen Automatisierungstechnologien machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Photolithographie- und Belichtungsanwendungen. Das Tool wurde entwickelt, um die bestmögliche Bildqualität, Prozesssicherheit und hervorragenden Durchsatz zu liefern.
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