Gebraucht ULTRATECH LSA 201 #9281314 zu verkaufen
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ID: 9281314
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
Laser spike annealer, 12"
Process: Dual Beam
CIM: SECS / GEM
Fab section: Diffusion
Hardware confguration (Fab):
Main system: RASCO
Factory Interface: (2) FOUP
Handler system: GENMARK GB
Options system: DC035-UT-A Laser
Remote / Optics rack
Hardware confguration (Sub fab / Auxilliary units):
ATS Heat exchanger
2015 vintage.
ULTRATECH LSA 201 ist ein Kleinfeld-Galvanometer-Scanner, der sich ideal für präzise Scan- und Bildgebungsanwendungen eignet. Es ist speziell für Wafer-Stepper-Systeme konzipiert und wird verwendet, um empfindliche Masken genau über den Wafer zu bewegen, um hochauflösende Bilder zu erzeugen. Der Scanner hat ein kleines Profil, das eine größere Flexibilität bei der Integration von Optik und anderen Komponenten in Systemen ermöglicht. LSA 201 verwendet ein patentiertes elektrooptisches Rückkopplungssystem, das eine präzise und wiederholbare Bewegungssteuerung ermöglicht. Es verwendet auch eine hochpräzise optische Elementausrichtung für die Ausrichtungswiederholbarkeit und Genauigkeit. Dadurch wird sichergestellt, dass der Wafer-Stepper bei minimaler Pixelverzerrung genaue Ergebnisse erzielt und gleichzeitig die Kosten und die Komplexität der manuellen Einstellungen reduziert. Der Scanner verfügt über ein hochauflösendes Scansystem, das Scangeschwindigkeiten von bis zu 50 Mikrometer pro Sekunde ermöglicht. Sie ist in der Lage, dem Antriebsmotor bis zu 2 Milliampere Strom mit einstellbarer Spannung von 5 bis 15 Volt zuzuführen. Zusätzlich ist das Gerät mit einer ausgeklügelten digitalen Schnittstelle zur präzisen und präzisen Steuerung der Bewegung ausgestattet. ULTRATECH LSA 201 wurde entwickelt, um effiziente Schrittmaskenwechsel zu ermöglichen. Es verfügt über einen schnellen und genauen Maskenwechselmechanismus, der das Wechseln von Masken in nur 15 Sekunden ermöglicht. Es kommt auch mit einem leistungsstarken Windows-basierten Softwarepaket, das die volle Kontrolle über den Scanner sowie alle Funktionen und Funktionen bietet. LSA 201 wurde mit präzisen Sicherheitsmechanismen entwickelt, die sicherstellen, dass das Gerät während des Betriebs sicher bleibt. Dazu gehören automatische Abschaltung bei Überlastung sowie Sensoren, die anormale Bewegungen erkennen und sofort stoppen. Zusätzlich wird der Scanner durch eine 2-jährige Garantie abgedeckt, die etwaige material- oder verarbeitungsbedingte Mängel abdeckt. Abschließend ist ULTRATECH LSA 201 eine ideale Lösung für Hochleistungs-Bildgebungs- und Scananwendungen. Es ist leicht anpassbar, verfügt über eine hochpräzise Bewegungssteuerung und kann schnell die Masken für einen effizienten Betrieb wechseln. Ein leistungsfähiges Softwarepaket bietet alle Funktionen und Funktionen, die für eine präzise Steuerung erforderlich sind, und Sicherheitsmechanismen sorgen dafür, dass das Gerät effizient und sicher arbeitet.
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