Gebraucht ULTRATECH LSA 201LP #9286627 zu verkaufen

Hersteller
ULTRATECH
Modell
LSA 201LP
ID: 9286627
Laser spike annealer.
ULTRATECH LSA 201LP ist ein Waferstepper für Lithographieanwendungen. Es ist speziell für kantenvorspannende Beleuchtung konzipiert und ist in der Lage, Resistlinien und Räume bis zu halben Mikron Auflösungen zu produzieren. ULTRATECH LSA201LP nutzt leistungsstarke, lineare Motorstufen zur Bewegungssteuerung. Es ist der einzige verfügbare Scanner mit 2-Achsen-Bewegungsstufen, der das Scannen verschiedener Formen und Strukturen auf dem Wafer ermöglicht. Dies hilft, die höchste wiederholbare Genauigkeit zu erreichen. LSA 201LP bietet eine numerische Aperatur von 0,75 und ein Sichtfeld von 5,4 mm, so dass eine breite Palette von detaillierten Mustern erreicht werden kann. Es ist mit hochauflösender Optik ausgestattet und kann sowohl konstante Beleuchtung als auch variable Beleuchtung sowie eine integrierte automatische Kalibrierung liefern. LSA201LP verfügt auch über ein Quad-Beam Alignment System (QBAS), das eine exakte optische Ausrichtung der Belichtungsoptik während der Lithographie gewährleistet. ULTRATECH LSA 201LP enthält auch eine Lichtquellenkarte, die eine rauscharme Stromquelle für die optischen Komponenten des Scanners bietet. Dies hilft, Musterfehler zu reduzieren, die durch die geräuschbedingten Intensitätsänderungen durch die Stromversorgung verursacht werden. Darüber hinaus verfügt ULTRATECH LSA201LP über eine Reihe automatisierter Wafer-Handling-Funktionen wie automatische Ausrichtung, Bildverarbeitung und Fehlerinspektion. Dies hilft dem Anwender, Entwicklungsprozesse zu beschleunigen und gleichzeitig die Entwicklungskosten zu senken. Insgesamt ist LSA 201LP ein fortschrittlicher Waferstepper, der sich gut für fortschrittliche Lithographieprojekte eignet. Die Kombination aus hoher optischer Auflösung, anspruchsvollen Automatisierungsmerkmalen und leistungsstarker Optik bietet ein umfassendes System für fortschrittliche Lithographieanwendungen. LSA201LP ist ideal für diejenigen, die die neueste und fortschrittlichste Stepper-Technologie benötigen, um optimale Ergebnisse zu erzielen.
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