Gebraucht ULTRATECH Mercury XLS 200 #9228467 zu verkaufen

ULTRATECH Mercury XLS 200 ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper für die kostengünstige Herstellung fortschrittlicher mikroelektronischer Geräte. Es ist für Genauigkeit und Zuverlässigkeit gebaut, so dass es ideal für Lithographie-Operationen, um dichte, komplexe Designs mit kleinen Merkmalsgeometrie zu produzieren. Die verbesserten bildgebenden Funktionen des XLS 200 machen es für enge Geometrien und hochmoderne Konstruktionsmerkmale gut geeignet. Mit einer schnellen Scangeschwindigkeit von 4450mm/s bietet es schnelle, genaue Bearbeitungszeiten auch für die am dichtesten verpackten Muster. Hochauflösende Optik bietet überlegene Gleichmäßigkeit und Bildqualität mit 13 nm Linienbreite Fähigkeiten. Das fortschrittliche Stufenhandhabungssystem ermöglicht eine schnelle Waferbelastung und präzise Ausrichtung, während das aktive Front-End für geringe Waferbelastung sorgt. Das System ist mit einem ausgeklügelten Steuerungssystem ausgestattet, das eine automatisierte Einstellung der Vakuumkammer, eine Messsteuerung der Belichtungszeit und eine Kontaminationskontrolle umfasst. Automatisierte Tuning- und Optimierungsfunktionen sorgen für präzise Interaktionen zwischen Scanner, Belichtungsquelle und Wafern für optimale Prozessleistung. Auto-Fokus und Fokus Drift Kompensation sind mit dem XLS 200 verfügbar, um hohe Genauigkeit im Laufe der Zeit zu halten. Um die Produktivität zu verbessern, verfügt das XLS 200 über eine Stapelverarbeitung mit mehreren Be- und Entladeoptionen und eine rezeptbasierte Benutzeroberfläche. Seine Detektorgenauigkeit und Wiederholbarkeit sind auf dem Markt für Lithographiesysteme unerreicht und es wurde unter Berücksichtigung der einfachen Wartung entwickelt. Mercury XLS 200 ist ein technisches Wunder für Waferstepper, das eine kostengünstige Herstellung und komplexe Lithographie mit Genauigkeit und Zuverlässigkeit ermöglicht. Seine Eigenschaften und Fähigkeiten machen es ideal für die Herstellung von fortschrittlichen Designs für die Halbleiterindustrie.