Gebraucht ULTRATECH Multipol #293607366 zu verkaufen

ULTRATECH Multipol ist ein Wafer-Stepper, der in der Halbleiterbauelement-Fertigungsindustrie verwendet wird. Es ist ein hochpräzises Werkzeug mit hoher Ausbeute, das Mikrostrukturen auf Halbleiterchips strukturiert. Es produziert Geräte mit Größen von einem Mikron bis 32 Mikrometer. Multipol verwendet eine Scanlampe, die aus einer X-Y-motorisierten Scanstufe besteht, um die mikroskopischen Strukturen auf der Waferoberfläche zu bilden. Die Scanlampe ist mit einer Vielzahl von Objektivlinsen ausgestattet, die einen Durchmesser von 5-50 mm mit einem Einfallswinkel (AOI) von 0-90 Grad aufweisen können. ULTRATECH Multipol verwendet Stufen variabler Größe, die Muster auf bis zu 12 "-Wafersubstraten erzeugen können. Es ist in der Lage, Bilder von 4X auf 50X zu projizieren und bietet die Flexibilität, entweder Step-and-Repeat, Scan oder eine Kombination aus beiden zu mustern. Es hat eine Auflösung von besser als 1 nm bei einer maximalen Belichtungszeit von 10 Millisekunden. Dieser Stepper zeichnet sich durch seine hochintensiven, lichtdichten Beleuchtungen aus, die optimale Musterleistungen bieten. Multipol verwendet auch fortschrittliche Steuerungsalgorithmen, die eine genaue Schrittsteuerung und -optimierung ermöglichen. Es ist auch mit einer programmierbaren Benutzeroberfläche ausgestattet, so dass Benutzer ihre Musterfähigkeit anpassen können. Die Benutzeroberfläche kann auf die spezifischen Anforderungen jeder Anwendung zugeschnitten werden, um sicherzustellen, dass das Gerät seine beabsichtigte Funktion mit höchster Präzision erfüllen kann. Darüber hinaus enthält ULTRATECH Multipol eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um sicherzustellen, dass die Wafer und Geräte während des Betriebs nicht beschädigt werden. Dazu gehören ein Anti-Reflexion-Verschluss, ein Strahl-Aligner und ein Vakuum-Spannfutter, die sicherstellen, dass die Partikel während der Wartung nicht beschädigt werden. Der Stepper ist außerdem mit einem Autofokus-System und einem Bildkorrektursystem ausgestattet, mit dem sich die Linsen an die Oberfläche des Wafers anpassen können, um die höchste Genauigkeit während des Musterprozesses zu erhalten. Insgesamt ist Multipol ein fortschrittlicher Wafer-Stepper mit der Fähigkeit, sowohl kleine als auch große Wafer mit Präzisionsgenauigkeit zu mustern. Es bietet die Möglichkeit, sowohl im Schritt- als auch im Scanmodus zu arbeiten, und seine Benutzeroberfläche kann auf die spezifischen Anforderungen des Kunden zugeschnitten werden. Es bietet auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um Geräteschäden zu verhindern. All diese Faktoren unterstützen seinen Erfolg in der Halbleitergeräteherstellung.