Gebraucht ULTRATECH Saturn AP 300 #9163161 zu verkaufen

Der ULTRATECH Saturn AP 300 Wafer Stepper ist für fortschrittliche Photolithographie-Anwendungen in der Halbleiterindustrie konzipiert und eignet sich besonders gut für großvolumige Anwendungen und schnelle Geräteverarbeitung. Der AP 300 ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm zu handhaben und ist mit einer patentierten Rückflussbildausrüstung ausgestattet, die eine hohe Gleichmäßigkeit in allen Prozessparametern unabhängig von der Substratgröße erzeugt. Das System kann Auflösungen bis zu 0,25 Mikron erreichen und ermöglicht feine Linienmuster für fortgeschrittene Geräteformationen. Der AP 300 ist mit einer S-förmigen Doppelpass-Abtaststufe und zwei senkrecht zueinander stehenden Abtastachsen für die volle Waferabdeckung gebaut. Dies ermöglicht präzise ausgerichtete Muster mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und geringer Verzerrung. Das Gerät verfügt außerdem über einen programmierbaren Hybridverschluss, der verschiedene Bereiche des Wafers gleichzeitig mit unterschiedlichen Belichtungszeiten abtasten, Aufnahmen stapeln oder unabhängige Stellen im Sichtfeld ausschließen kann. Diese Funktion erhöht den Durchsatz und macht den AP 300 gut für die Ausrichtung der Photomaske geeignet. Neben seinen präzisen bildgebenden Funktionen verfügt der AP 300 auch über eine automatisierte optische Ausrichtmaschine. Hochempfindliche, digitale Detektoren werden verwendet, um den Photomaskenort und die Schrittposition schnell auf eine Genauigkeit von 9um zu bestimmen und anzupassen. Diese Funktion reduziert die Rüstzeit und optimiert die Druckergebnisse. Der AP 300 verfügt zudem über einen hohen Automatisierungsgrad, einschließlich Stromausfallschutz, aus dem Waferschutz, einen Maskenident-Tisch, eine automatisierte Wasserflussüberwachung und einen Roboterlader mit Kassettenhandhabungsfunktionen. Das Tool kommt auch mit einem Computer mit einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche für Bildmodifikationen, Prozessrezepte, Wafer-Tracking und gedruckte Wafer-Informationen. Als letzte Schutzschicht ist das Produkt mit einer Reihe von ausfallsicheren Funktionen ausgestattet, die bei einem katastrophalen Vermögensausfall eine sofortige Abschaltung ermöglichen. Saturn AP 300 Wafer Stepper ist ein fortschrittliches und zuverlässiges Werkzeug für hohe Volumen arbeiten. Dank seiner hervorragenden Auflösung, automatisierten Funktionen und präzisen Scanfunktionen bietet der AP 300 eine One-Stop-Lösung für die Geräteherstellung. Mit seinem umfassenden Gefolge von Eigenschaften ist AP 300 eine ausgezeichnete Wahl für die Hochleistungsfotolithographieverarbeitung.