Gebraucht ULTRATECH Saturn III 6700 #293651574 zu verkaufen

ID: 293651574
Weinlese: 1990
I-Line stepper 1990 vintage.
ULTRATECH Saturn III 6700 Wafer Stepper ist eine präzise optische Lithographie-Maschine zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist ein 9-Zoll-automatischer fortschrittlicher Stepper mit einer netzwerkbasierten Architektur und einem trägen Multi-Achsen-Handling-System. Dies ermöglicht eine genaue, präzise und wiederholbare Platzierung von Photomasken für die Hochgeschwindigkeitsproduktion fortschrittlicher Mikroelektronik. Die 6700-Serie bietet einen außergewöhnlichen Durchsatz mit Belichtungszeiten, die konstant eine High-End-Ausbeute von 0,25 Mikrometern liefern. Die eingebaute Präzisionsbewegungssteuerung ermöglicht eine schnelle, zuverlässige und genaue Positionierung und Abtastung von bis zu 8 Matrizen gleichzeitig. Die Bedienoberfläche verfügt über einen Touchscreen-LCD-Monitor und eine umfassende Benutzerdiagnose. Die 6700 Serie ist kompatibel mit einer breiten Palette von Photoresists, wie SOL-Gel, ALD und HRG (High Resolution Glass). Die 6 "Belichtungsfläche kann Gerätegrößen von 6" bis 12 "behandeln, was bedeutet, dass ein einziges Maskenset mehrere Gerätegrößen abdecken kann. Das Hochtoleranzbelichtungssystem sorgt für eine gleichmäßige großflächige Belichtung mit einer Lichtquellenleistung von bis zu 3 mW/cm2 und einer Dosisbelichtung von 45-200 mJ/cm2. Die vielseitige Dateneingabe aus einer Vielzahl von Quellen, einschließlich hochauflösender Bitmaps, Vektorgrafiken, Bildern und Textdaten, kann problemlos mit 4 MB Onboard-Speicher und einer Massendaten-Ein-/Ausgabeschnittstelle verwaltet werden. Der Saturn III 6700 ist mit einem gehärteten industriellen Luftlager ausgestattet und ermöglicht einen schnellen, wiederholbaren mehrachsigen Bühnenbetrieb. Der eingebaute Differentialantriebsspiegel, der Oberwellenverzerrungen verhindert, sorgt für einen zuverlässigen Betrieb während der Belichtung. Darüber hinaus verfügt die 6700-Serie über leistungsstarke Belichtungs- und Fokussierungsalgorithmen, die mit allen ULTRATECH High-End-Lithographie-Tools kompatibel sind. Der integrierte Belichtungsmonitor stellt sicher, dass die Belichtungsbedingungen einheitlich und wiederholbar sind, während ein Fokusmonitor es Benutzern ermöglicht, Fokuskontrollen auf Waferebene durchzuführen. ULTRATECH Saturn III 6700 ist ideal für die Herstellung von High-End-Lithographie Wiederholbarkeit, Genauigkeit, Geschwindigkeit und Auflösung in großem Maßstab. Die Kombination aus Kosteneffizienz und robusten Funktionen macht es zur perfekten Wahl für verschiedene fortschrittliche Mikroelektronik-Projekte.
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