Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293628684 zu verkaufen

ID: 293628684
Wafergröße: 4"-8"
Weinlese: 1998
Stepper, 4"-8" G&H i-Line optics Lamp, 1000 W Extended Focus option for thick resist exposure capability GENMARK robot Servo pre-aligner Reticle, 5" (Capable of upgrading to 6") Reticle barcode reader Wafer Edge Exclusion (WE) Auto aperture COGNEX Machine Vision System (MVS) Max FOV of 44mm x 26.7mm Numerical aperture: 0.16 Lower pelicle protection Pneumatic-lock movable handler 1998 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3 Wafer Stepper ist ein hochpräzises, leistungsstarkes Werkzeug für fortschrittliche Anwendungen der optischen Lithographie. Es kombiniert überlegene optische Leistung, eine große 6,5-Zoll-Feldgröße und ein fortschrittliches optisches Design. Saturn Spectrum 3 ist ein Mehrbenutzersystem mit einer maximalen Belichtungsfläche von 6,5 Zoll und bietet einen hohen Durchsatz und niedrige Betriebskosten. Das fortschrittliche optische Design von ULTRATECH Saturn Spectrum 3 nutzt ein 4-Spiegel-Bildgebungssystem, das eine hervorragende Bildqualität mit hohem Seitenverhältnis und geringer Bildverzerrung bietet. Es verfügt auch über eine große 6,5-Zoll-Feldgröße, die höhere Geräteabdeckungserträge für komplexe Gerätedesigns ermöglicht. Es bietet überlegene Fokustiefe und niedrige NA, so dass es ideal für low-k1 kritische Anwendungen. Neben der fortschrittlichen Optik verfügt das Saturn Spectrum 3 auch über ein Hochgeschwindigkeits-Imation-Laufwerk und einen Lastport. Dies ermöglicht eine schnelle und effiziente Wafer-Handhabung für verbesserten Durchsatz und Produktivität. Das ULTRATECH Saturn Spectrum 3 verfügt zudem über eine breite Palette integrierter Wafer-Handhabungsmöglichkeiten, darunter eine automatische Ausrichtung, ein Vision-basiertes Alignment-Kalibriersystem und ein integriertes Laserinterferometer. Dies ermöglicht überlegene Ausrichtungsgenauigkeit und Durchsatz, so dass es ideal für Serienproduktionen ist. Saturn Spectrum 3 kann sowohl im Einzel- als auch im Multi-User-Modus betrieben werden. Es kann über die Standard-Netzwerkprotokolle problemlos mit anderen Tools verbunden werden, so dass Remote-Zugriff möglich ist, und ist vollständig mit Windows-basierten Computern kompatibel. Seine intuitive, menügesteuerte Oberfläche macht es einfach zu bedienen, und es gibt mehrere zusätzliche Softwareoptionen, um es für bestimmte Operationen anzupassen und zu optimieren. Insgesamt ist ULTRATECH Saturn Spectrum 3 ein ausgezeichnetes Werkzeug für hochpräzise optische Lithographieanwendungen mit überlegener Optik, hohem Durchsatz und niedrigen Betriebskosten. Seine erweiterte Optik und integrierte Wafer-Handhabungsfunktionen machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für fortschrittliche Gerätedesigns, und seine intuitive Benutzeroberfläche und umfangreiche Softwareoptionen stellen sicher, dass es einfach für jede spezifische Anwendung angepasst werden kann.
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