Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293642851 zu verkaufen

ULTRATECH Saturn Spectrum 3 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper für Halbleiterherstellungsanwendungen. Es kombiniert Wirtschaftlichkeit, geringe Wartung und verbesserte Auflösung mit überlegener Genauigkeit und Betriebseffizienz. Saturn Spectrum 3 verwendet die neueste Stufenfeldlithographietechnologie, um eine hervorragende Waferleistung zu bieten. Dieses Gerät verwendet ein zweistufiges Lithographieverfahren, das eine höhere Präzision und kleinere Funktionsgrößen ermöglicht. Diese Innovation ermöglicht auch eine höhere Ausrichtungsgenauigkeit als konkurrierende Modelle. ULTRATECH Saturn Spectrum 3 ist darüber hinaus mit einem hochpräzisen, hochauflösenden Belichtungssystem ausgestattet, um schnelle und zuverlässige Prozesszeiten zu gewährleisten. Dieses Gerät wird von einer zweistöckigen Lichtquelle mit hoher Intensität angetrieben, die eine konstante, wiederholbare Leistung bietet. Der Benutzer kann die Belichtungszeit anpassen, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu gewährleisten. Saturn Spectrum 3 enthält auch eine Reihe von erweiterten Automatisierungsfunktionen. Diese Funktionen umfassen automatische, wiederholbare Schrittprozesssteuerung, die eine höhere Verfolgungsgenauigkeit gewährleistet, sowie Split-Edge-Registrierung und Kollisionsvermeidung, die helfen, die Ausrichtungsgenauigkeit aufrechtzuerhalten. Zusätzlich beinhaltet die Maschine ein Werkzeugkalibrier- und Überwachungswerkzeug, um eine optimale Waferleistung zu gewährleisten. Darüber hinaus bietet ULTRATECH Saturn Spectrum 3 Wafer-Implantat- und Glühfähigkeiten. Diese Bereicherung nutzt ein fortschrittliches Elektronenstrahl-Lithographiemodell, um hochwertige Resistfunktionen für Implantate zu erzielen und sowohl Front-End als auch Back-End-Prozesse zu integrieren. Schließlich verfügt Saturn Spectrum 3 auch über eine intuitive Benutzeroberfläche für einfache Bedienung und Prozesssteuerung. Dieses Gerät nutzt moderne grafische Anzeigetechnologien, um klare und umfassende Anzeigen des aktuellen Systemstatus und Workflow zu liefern. Insgesamt ist das ULTRATECH Saturn Spectrum 3 ein leistungsfähiger und kostengünstiger Wafer-Stepper, der Halbleiterherstellern dabei hilft, die Prozess- und Leistungsgenauigkeit aufrechtzuerhalten. Dieses Gerät kombiniert höchste Leistung in der Lithographie, mit anspruchsvoller Automatisierung und einer benutzerfreundlichen Oberfläche, um eine hervorragende Waferleistung zu bieten.