Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293761611 zu verkaufen
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ID: 293761611
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 2001
Stepper, 6"-8"
Type: Silicon
Flat notch wafer
Reticle size, 6"
DOF Monitor
Lamp intensity
i-Line and GHI
Resolution: 5 µm
(3) GHI Stepper
12-Slots reticle library
GENMARK Robot and controller
GENMARK Pre-aligner
Wafer chuck, 5"-8"
WAS Alignment
Wavelength filter
Illuminator
P/N:5000533 USHIO USH-1003FA Lamp
RASCO TBW-UD60S Chamber
Illuminator performance:
GHI Lamp: 1425 mJ/cm²
i-Line lamp: 455 mJ/cm²
2001 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper für die High-End-Fotolithographie für die Halbleiterindustrie. Es verwendet eine 9-achsige, linearmotorisch angetriebene Abtaststufe, gekoppelt mit einer hochpräzisen Dual-Mirror-Messtechnik für überlegene Auflösung. Ein automatisiertes Waferaustauschsystem ermöglicht eine unterbrechungsfreie Waferbearbeitung und ist mit 2-Zoll, 4-Zoll und 6-Zoll-Wafern kompatibel. Der Stepper zeigt auch eine hochgenaue optische Ausrichteinheit, die angepasst werden kann, um die Bildgebung sowohl von ein- als auch mehrstufigen Resists zu optimieren. Saturn Spectrum 3 wird durch eine intuitive, benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche angetrieben, die beim Einrichten, Ausrichten, Waferaustausch und der Auftragssteuerung hilft. Erweiterte Funktionen wie die' Intelligent Auto Focus Machine' ermöglichen eine effiziente Bildgebung in allen Arten von Waferprozessen. Rüst- und Kalibrierzeiten sind minimal und Funktionen wie die' Melt-On Delay 'und' Cycle-Trace' verbessern die bildgebende Konsistenz und reduzieren die Prozessentwicklungszeiten. Darüber hinaus umfasst der Stepper eine umfangreiche Palette von Prozessoptimierungsalgorithmen und bildgebenden Tools wie' MaxRepeatTM 'und' Free LinTM', die eine optimale Kontrolle kritischer Abmessungen und Linienbreiten für eine Vielzahl von Prozessschritten und Materialien ermöglichen. Darüber hinaus verfügt das ULTRATECH Saturn Spectrum 3 über die Möglichkeit, sich in eine Reihe von Wafer-Handling-Systemen zu integrieren und kann über ein internes Tool oder einen entfernten Standort über eine Ethernet-basierte Kommunikationsverbindung gesteuert werden. Saturn Spectrum 3 bietet auch eine Vielzahl von Umgebungseinstellungen, die eine feinkörnige Umweltkontrolle ermöglichen. Durch den Einsatz des exklusiven „Active Monitoring Asset“ kann der Bediener die Temperatur, Feuchtigkeit und Vibrationsniveaus auf der Waferstufe steuern, um die Wafernutzung und -ausbeute zu maximieren. Darüber hinaus verfügt der Stepper über „Automated Bake-On Presence“, um optimale Backbedingungen einzuleiten, während die „Dry Stop“ -Funktion mögliche Flecken bei stabilitätskritischen Prozessen wie Strippen und PR-Rümpfen eliminiert. Sicherheitsmerkmale wie Brandunterdrückung und Notabschaltung sind in ULTRATECH Saturn Spectrum 3 sowie eine absorbierende Grundplatte integriert, um Vibrationen zu reduzieren. Es wurde gebaut, um die strengsten Sicherheitsstandards und Zertifizierungen zu erfüllen und eignet sich daher für ultra-niedrige Kontaminations- und ultrapräzise bildgebende Verfahren. Saturn Spectrum 3 ist der führende Wafer-Stepper für die Herstellung hochpräziser Halbleiterscheiben der nächsten Generation.
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