Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9182395 zu verkaufen
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ID: 9182395
Weinlese: 2000
Stepper
Missing parts
Lens data
Exposure shutter
2000 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper für die photolithographische Verarbeitung. Als Stepper ist es in der Lage, Schaltungsmerkmale wie Transistoren auf einer Halbleiterscheibe zu erzeugen, indem es elektromagnetischer Strahlung ausgesetzt wird. Saturn Spectrum 3 nutzt fortschrittliche ultraviolette, optische und andere Wellenquellen, um die Bildgebung zu optimieren und die Photoprocessing-Zeit zu minimieren. Der Stepper hat eine beeindruckende Auflösung von 2µm und eine automatisierte Feldnähte eines 18mmfield. Seine starre Struktur ermöglicht eine schnelle und genaue Platzierung der Funktionen, was ihm eine erweiterte Scangeschwindigkeit von bis zu 100 mm/s ermöglicht. Es verfügt auch über anspruchsvolle Systeme für Wellenfrontanalyse und Ausrichtung, so dass es ideal für Wafer Verfeinerung und Präzision Platzierung. ULTRATECH Saturn Spectrum 3 verfügt über ein Dualkomponenten-Lithographiesystem mit einem Top-Down-Ausrichtverfahren. So können Wafer und belichtete optische Strukturen bis 18 mm Durchmesser effizient verarbeitet werden. Es verfügt auch über hochstabile Kammern und Lastschlösser, die bis zu 5 "Substrate mit einem Arbeitstemperaturbereich von 10-40 ° C unterstützen. Der Stepper verfügt über eine benutzerfreundliche Softwareschnittstelle, die mit Windows 10 und Linux-Betriebssystemen kompatibel ist und sowohl mit einem isolierten als auch mit einem weit entfernten Käfig zum Schutz sensibler Daten und geistigen Eigentums hergestellt wird. Es hat eine Machtvoraussetzung 220VAC, drei Phase, und unterstützt auch Ethernet, RS232/485 oder Schnittstellennachrichtenmethoden I/Os. Dieser Stepper ist ideal für die fortschrittlichen Lithographieverfahren, die die Halbleiterindustrie benötigt, wie Photoresist-Bildgebung, chemische Verstärkung und Ätzen. Ob im Forschungs-, Industrie- oder Medizinbereich, Saturn Spectrum 3 kann seine Fähigkeit, aktuelle und zukünftige Standards der Waferbearbeitung zu erfüllen, unterstützen.
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