Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9186993 zu verkaufen

ULTRATECH Saturn Spectrum 3 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der einen automatisierten Ansatz für die Halbleiterherstellung bietet. Das Gerät wurde entwickelt, um die Produktion verschiedener integrierter Schaltungsschichten mit hohem Durchsatz zu erleichtern. Mit einem integrierten Vision-Alignment-System ist es in der Lage, hochauflösende Registrierung und Belichtungsgenauigkeit, die Sicherstellung der zuverlässigsten Schicht zu Schicht Gleichmäßigkeit. Das Spectrum 3 nutzt stereoskopische Bildgebung mit 4 "Wafer-Anpassungskapazität und verfügt über eine vierstufige XY-Autopositioniereinheit mit 5-Achsen-Scanfähigkeit. Die Maschine verfügt auch über ein fortschrittliches Stufensteuerungswerkzeug mit einem automatischen Waferaustausch-Asset und einem integrierten Vakuumsteuerungsmodell. Dies ermöglicht ein einfaches Be- und Entladen von Wafern aus Kassetten und einem 6-Zonen-Heizofen. Dadurch ist eine gleichmäßige Wärmebelastung sowohl der Vorder- als auch der Rückseite des Wafers möglich. Zur weiteren Verbesserung der Präzisionsbelichtungsgenauigkeit verfügt das Gerät außerdem über eine optionale Kurzbogenentladungslampe (HID) mit hoher Intensität. Das Spectrum 3 verwendet ein computergesteuertes optisches Bühnen- und Sichtkontrollsystem, das die Wafer-Schrittkante zur Registrierung vor Beginn einer Exposition überprüft. Es ist in der Lage, ultra-hochauflösende (900nm) Registrierung und verfügt über einfache und doppelte Musterfähigkeit. Das Gerät ist auch hochflexibel und bietet volle Kompatibilität mit einer Vielzahl von Wafer-Verarbeitungsumgebungen und kann aktuelle Technologien von 0,25 bis 28 nm verarbeiten. Die Maschine verfügt über ein robustes Softwarepaket, das den Durchsatz und die Effizienz maximiert. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) bietet Echtzeit- und Offline-Datenanalyse sowie 2D- und 3D-Visualisierungstools. Als solcher ist das Spektrum 3 eine ausgezeichnete Wahl für Präzisionshalbleiterherstellungsumgebungen.