Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9280616 zu verkaufen

ULTRATECH Saturn Spectrum 3
ID: 9280616
Weinlese: 2000
Stepper 2000 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der den Anforderungen anspruchsvoller Produktionsanlagen gerecht wird. Dieses Modell des Saturn Spectrum bietet ein beispielloses Maß an Leistung, Genauigkeit und Zuverlässigkeit. Saturn Spectrum 3 hat ein dynamisches Sichtfeld, das bis zu 10 ° erreichen kann, wodurch Wafer bei Auflösungen von 1 µm ausgerichtet werden können. Um diese Präzision zu erreichen, ist der Stepper mit einem Hochleistungsscanner, einem integrierten Präzisionsbewegungssteller, einer hochpräzisen Stufe und einem Hochgeschwindigkeitsprozessor ausgestattet. Um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit des Steppers zu erhalten, hat ULTRATECH die Biegeführungstechnik in den Maschinenbau integriert. Durch diese Ausgestaltung wird sichergestellt, dass die Wafer auch bei Vibrationen oder Fehlbewegungen beim Ausrichten stabil bleiben. Der integrierte Präzisionsbewegungsaktuator hilft auch, genaue und wiederholbare Leistung zu gewährleisten. Unter Verwendung eines Miniatur-Linearmotors kann der Aktuator den Schrittmotor in x-, y- und z-Achsen mit einer maximalen Geschwindigkeit von 40mm/s bewegen. Diese Hochgeschwindigkeitsbetätigung wird durch die integrierte Auto-Focus (AF) -Funktion weiter verbessert, die es der Maschine ermöglicht, die beste Fokusposition für den Wafer automatisch zu identifizieren. Um erhebliche Kosteneinsparungen zu gewährleisten, hat ULTRATEK ULTRATECH Saturn Spectrum 3 mit einer Vielzahl von Software-Tools ausgestattet. Das Softwarepaket des Steppers umfasst ein statistisches Rückkopplungsprogramm, ein mikroskopisches Inspektionsprogramm und eine Trace-Report-Funktion, um die Leistung der Maschine im Laufe der Zeit zu überwachen. Darüber hinaus ist Saturn Spectrum 3 für eine einfache Integration in Produktionslinien konzipiert. Es bietet Kompatibilität mit den Standard-Kommunikationsprotokollen automatisierter Handhabungssysteme und kann mit zusätzlichen Hardwarekomponenten für eine verbesserte Leistung aktualisiert werden. Mit seinen beeindruckenden Fähigkeiten, seiner robusten Konstruktion und seiner einfachen Integration kann ULTRATECH Saturn Spectrum 3 zuverlässige und genaue Leistung für anspruchsvolle Produktionsanforderungen garantieren.
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