Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9281727 zu verkaufen

ULTRATECH Saturn Spectrum 3 ist ein hochpräziser Wafer-Stepper, der zur Ausrichtung und Strukturierung von Substraten und Wafern in einer Vielzahl von Größen im Rahmen der Herstellung kleiner Chip-Designs entwickelt wurde. Dieses Produkt nutzt die fortschrittlichste Maschinentechnologie und kombiniert sie mit anspruchsvollen optischen Techniken, die eine extrem präzise Anwendung von photolithographischen Mustern auf einem Substrat oder Wafer ermöglichen. Saturn Spectrum 3 besteht aus einer hochauflösenden Objektivausrüstung, die auf einem Präzisionsbewegungssystem montiert ist und eine maximale Genauigkeit der Ausrichtung und der Musteranwendung ermöglicht. Die hochgenaue Linseneinheit ist im Wafer-Bühnenkopf untergebracht und bietet zuverlässige Schrittleistung und präzise gesteuerte Bewegung. Um die Genauigkeit der Musterprojektion auf ein Substrat oder einen Wafer zu gewährleisten, ist das ULTRATECH Saturn Spectrum 3 mit einer Bildverzerrungskorrekturmaschine ausgestattet, mit der der Stepper schnell ein Substrat oder einen Wafer ausrichten kann. Auch dieses Werkzeug sorgt für eine optimale Musterplatzierung, da der Stepper bei Bewegung um verschiedene Positionen in der Prozesskammer selbstkalibrierbar ist. Saturn Spectrum 3 wurde entwickelt, um eine maximale Prozessauflösung von 1 Mikrometer über eine volle Wafer- oder Substratgröße von 25 mm auf der X- und Y-Achse bereitzustellen. Das Belichtungsmuster reicht von 0,25 bis 5 Mikrometer und erzeugt bemerkenswert präzise Geräte und Mikrostrukturen. Der Stepper ermöglicht die Verwendung von Photoresist- und Trockenfilm-Lithographie, die eine spezielle Materialbearbeitung und verbesserte Funktionalitäten ermöglicht. Darüber hinaus ist der Stepper mit einer integrierten automatischen Gerätekennung ausgestattet, die eine genaue Teileregistrierung ermöglicht, um eine präzise Musterausrichtung zu gewährleisten. Neben der anspruchsvollen optischen und mechanischen Ausstattung besteht das ULTRATECH Saturn Spectrum 3 auch aus einer hochmodernen Software, die eine maximale Prozesssteuerung ermöglicht. Diese Software bietet Echtzeit-Dateninterpretation sowie Online-Rückverfolgbarkeit für alle Verarbeitungsschritte. Darüber hinaus ermöglicht es eine präzise Strukturierung und Anpassung für verschiedene Arten der Lithographie. Insgesamt ist Saturn Spectrum 3 ein führender Wafer-Stepper, der mit seinen hochentwickelten optischen und Bewegungssystemen eine außergewöhnliche Genauigkeit bietet. Es gewährleistet eine präzise Ausrichtung und Musteranwendung für verschiedene Arten von Lithographie und ist damit ein ideales Werkzeug für die Herstellung hochpräziser Geräte und Mikrostrukturen.