Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9293521 zu verkaufen

ULTRATECH Saturn Spectrum 3 Wafer Stepper ist ein halbautomatisches Werkzeug für die genaue und effiziente Ausrichtung und Belichtung von Halbleitern während des Produktionsprozesses. Dieses Werkzeug verfügt über eine 9 "x9" x-y-Bühne, zwei 8 "Round-Robin-Stufen und eine 600mm Tiefenschärfe. Es verwendet einen computergesteuerten, digitalen Mustergenerator (PG), der eine Submikron-Auflösung bietet und Wiederholgenauigkeit für hohen Durchsatz bietet. Saturn Spectrum 3 Wafer Stepper ist auf einem robusten Rahmen gebaut, die erhebliche Stabilität bietet, wie das Werkzeug Wafer verarbeitet. Die beiden 8 "Round-Robin-Stufen ermöglichen eine genaue Ausrichtung und Positionierung des Wafers während der Belichtung, was eine doppelseitige Verarbeitung, eine mehrstufige Strukturierung und einen hohen Durchsatz ermöglicht. Zusätzlich können alle drei Achsen des Werkzeugs zusammenarbeiten, um die fortschrittlichsten Operationen für die Halbleiterbearbeitung zu erleichtern. Teil der PG-gesteuerten Software-Suite, die im Lieferumfang des Tools enthalten ist, ist eine Autoalign-Funktion, die bei der Einrichtung und Feinabstimmung des Wafers unterstützt. Diese Funktion erhöht nicht nur den Durchsatz, sie sorgt für eine optimale Ausrichtung, da der Wafer für jede Belichtungsschicht in Position gebracht wird. Das 2000-Zeilen/mm-optische System bietet klare Bilder von Mustern, indem die geometrische Verzerrung und Lichtfackel beseitigt werden, die bei höheren NA-Niveaus auftreten können. In Kombination mit einem fokussierten Ionenstrahlbeschichtungsgerät bietet der ULTRATECH Saturn Spectrum 3 Wafer Stepper ein vollautomatisches System, das manuelle Prozesse beseitigt. Seine geringe thermische Drift sorgt für temperaturkompensierte Genauigkeit, während seine geringen Wartungskosten machen es zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Prozessen und Substraten. Darüber hinaus sorgt die computergesteuerte Software für Genauigkeit und wiederholbare Ausgabe, die Flexibilität und gute Ergebnisse auch bei umfangreichen Produktionszyklen ermöglicht. Saturn Spectrum 3 Wafer Stepper bietet fortschrittliche, automatisierte Halbleiterverarbeitung mit Genauigkeit und Präzision. Seine computergesteuerte Präzision, x-y-Fähigkeiten und doppelseitige Verarbeitung machen es zu einem leistungsstarken Werkzeug bei der Herstellung der fortschrittlichsten Substrate.