Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9163594 zu verkaufen

ULTRATECH Saturn Spectrum 300 Wafer Stepper ist ein vielseitiges, kostengünstiges Werkzeug für die Herstellung von Photomasken. Die Ausrüstung ist mit hochpräzisen, kostengünstigen Waferausrichtungs- und Musterfunktionen ausgestattet. Sie kann eine präzise Lithographie mit hoher Genauigkeit für die kleinen Merkmale heutiger Halbleiterbauelemente liefern. Das Spectrum 300 verfügt über ein 6 „x 6“ Belichtungsfeld mit einem beschleunigten Sichtfeld von bis zu 6,8 „x 6,8“. Der Stepper verfügt über einen 4,3-Zoll-Reticle-to-Wafer-Spalt, der eine Hochfidelity-Abbildung über mehrere Geräte auf einem einzigen Substrat ermöglicht. Der Stepper hat auch die Fähigkeit, mit verschiedenen Belichtungsenergien zu bildern sowie sowohl phasenverschiebende als auch chromlose Bildgebungsverfahren zu verwenden. Das System ist mit einer inkrementellen Höhenverstellung ausgestattet, die eine Strukturierung der Korrektur von Wafer zu Wafer ermöglicht, ohne dass die Wafer-Stufen physisch bewegt werden müssen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über elektrisch-feldfreie (EFF) Abbildungstechnik, die Bildverzerrungen eliminiert, die bei herkömmlicher Maskenbildgebung auftreten können. In Bezug auf die Bildtreue bietet das Spectrum 300 eine hervorragende Auflösung mit einer 8-Zoll-Laseroptik und Linearantriebsmaschine. Der Stepper bietet zudem eine hohe Produktivität mit seiner Drei-Felder-Scan-Fähigkeit und hohem Durchsatz. Das Tool kann eine Gesamtscanrate von bis zu 3200um/Sekunde erreichen. Das Asset kann für insgesamt 16 Belichtungen konfiguriert werden, was eine Bildüberlagerung und erweiterte Lithographie über mehrere Werkzeuge hinweg ermöglicht. Das Spectrum 300 ist in der Lage, sowohl binäre als auch Leff-Gitter abzubilden und Muster zu wiederholen. Das Modell hat eine Auflösung in der Größe von 0,25 μ m mit Talbot-fähigem Objektiv, was es für fortschrittliche und anspruchsvolle Lithographieanwendungen geeignet macht. Die Ausrüstung hat einen gesamten Fahrbereich von 25mm in x und y mit einer Genauigkeit von +/- 2 μ m. In Bezug auf die Sicherheit, das Spectrum 300 kommt mit mehreren Funktionen und Optionen, wie: Augenschutzverschluss, Doppelkettenbetrieb und Job-Abbruch. Der Stepper verfügt über ein hochmodernes CE-konformes Steuersystem und eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche, die eine einfache Bedienung ermöglicht. Saturn Spectrum 300 Wafer Stepper ist ein kostengünstiges und zuverlässiges Werkzeug für die Herstellung von Photomasken. Das Gerät ist mit mehreren Funktionen ausgestattet, die eine präzise und genaue Bildgebung, ein hohes Maß an Produktivität und Bildtreue sowie Sicherheitsmerkmale ermöglichen, die die Maschine für verschiedene Lithographieanwendungen geeignet machen.