Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9312357 zu verkaufen

ULTRATECH Saturn Spectrum 300 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der überlegene Flexibilität bei der Vorbereitung von Photomasken für die Halbleiterherstellung bietet. Es arbeitet in Verbindung mit einer automatisierten Waferkassettenausrüstung, die eine gleichmäßige Substratbelichtung und -abgabe ermöglicht. Saturn Spectrum 300 bietet eine Vielzahl von Funktionen, die für die Substratverarbeitung wichtig sind, darunter eine 200mm-Waferstufe, eine 6M-Pixelkamera und einen 50.000-U/min-Motor zum Antrieb des Wafers. Es ist in der Lage, Belichtungsscannen in Standard- und Nicht-Standard-Formaten und kommt mit speziellen Funktionen wie automatische Musterdrehung, Lasermusterprüfung, Musterregistrierung und musterabhängige Substratbelichtung. Es verfügt auch über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, so dass Benutzer ihre Photomasking-Operationen einfach programmieren und überwachen können. Dieser fortschrittliche Wafer Stepper ist entworfen, um verschiedene Substratmaterialien zu behandeln, einschließlich Glas, Quarz und Polyimid. Die hohe Empfindlichkeit des Systems bedeutet, dass es präzise und präzise Muster auf Substraten mit minimaler Verzerrung platzieren kann. Es ist auch in der Lage, Muster beim Scannen mit sehr geringer Verzerrung zu nähen. ULTRATECH Saturn Spectrum 300 bietet eine konsistente Belichtungsdosis auf Wafersubstraten, die schnellere Produktionszeiten und weniger Probleme mit nicht skalierbaren Mustern ermöglicht. Die Einheit kann programmiert werden, um mehrere Scans desselben Musters auf demselben Wafersubstrat zu erzeugen, was den Durchsatz und die Produktivität erhöht. Die Maschine kann auch verwendet werden, um die Dosis mit einer Genauigkeit von bis zu einigen Prozent zu messen. Saturn Spectrum 300 wurde entwickelt, um umfassende Sicherheitsfunktionen zu integrieren, einschließlich einer integrierten Sicherheitsvorrichtung zum Schutz des Wafers vor UV- und E-Strahlung. Weitere Sicherheitsmerkmale sind ein optisches Gitter zur Verhinderung von optischen Schäden am Substrat und ein Blendschutzfilter zur Beseitigung der Wirkung von Streulicht. Außerdem verfügt das Tool über eine zweistufige Kühlanlage, um einen präzisen Temperaturbereich und eine optimale Prozessleistung zu gewährleisten. ULTRATECH Saturn Spectrum 300 ist in der Lage, Muster in hoher Auflösung mit höchster Zuverlässigkeit zu erzeugen. Die fortschrittliche algorithmengesteuerte Technologie ermöglicht höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Es bietet unübertroffene Unterstützung für eine breite Palette von Prozessoperationen, einschließlich Substratbelichtung, Substratinszenierung, Musterregistrierung und vieles mehr. Dank seines benutzerfreundlichen Designs und seiner fortschrittlichen Funktionen ist der Saturn Spectrum 300 Wafer Stepper ein wesentliches Werkzeug für den Halbleiter-Fab-Betrieb.