Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9357231 zu verkaufen

ID: 9357231
Wafergröße: 12"
Stepper, 12" Lens: 2.0µm Robotic wafer handler, 8"-12" Environmental chamber Reticle library Light pipe: 44 x 26.7 mm Illuminator: 1000w Lens alignment Automatic enhanced global alignment Air probe focus detector 3-Point focus detector Linear motor: X, Y stage MVS Pattern recognition system Closed loop exposure dose controller Vibration isolation system Auto-uniformity Dynamic focus SECS II Compatibility Bottom-side prism protection pellicle Dual flip aperture broadband Intensity: 1650mW Uniformity: 7% DOF: 2µm.
ULTRATECH Saturn Spectrum 300 ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper, der speziell für die Massenproduktion fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Die Maschine erzielt ausgezeichnete Ausbeuten und Durchsatzleistungen in der Halbleiterverarbeitung mit einer Arbeitsfläche von 30 x 30 cm. Es handelt sich um einen integrierten Hybrid-Projektionsstepper mit einer großflächigen Objektivausrüstung und einer vollautomatischen Scanfähigkeit, wodurch es für Anwendungen mit Submikronlithographie geeignet ist. Das System ist mit zwei unabhängigen Photonen-Bildgebungssystemen ausgestattet, die es ermöglichen, Stereo-Lithographie zu handhaben, ohne dass ein Photomasken-Adapter erforderlich ist. Es ist in der Lage, sowohl positive als auch negative Photoresists zu handhaben, so dass es ideal für die Resistverarbeitung ist. Darüber hinaus ermöglicht die einzigartige „Edge-Plunge“ -Funktion die präzise Positionierung von Kontakten auf dem Wafer. Saturn Spectrum 300 verwendet eine fortschrittliche Neun-Achsen-Bewegungssteuereinheit, um genaue Wiederholbarkeit und Stabilität während der Halbleiterbelichtung zu erreichen. Es ist sehr stabil und zuverlässig und kann während des Betriebs weniger als 5 Prozent seiner gesamten Scanfläche verlieren. Die Maschine ist mit weniger beweglichen Teilen als herkömmliche Waferstepper ausgelegt, was zu einer erhöhten Effizienz und geringeren Wartungskosten führt. Es ist mit einem Vollglas-Hauptoptikpfad gebaut, die hohe Leistung und eine ultra-niedrige Verzerrungsrate zu gewährleisten. Darüber hinaus verwendet es zur Kühlung einen Luft-Wasser-Nebel, der eine gleichmäßige Kühlung gewährleistet, ohne den optischen Weg zu beeinträchtigen. Dies hilft bei der Verbesserung der Bild- und Durchsatzleistung. ULTRATECH Saturn Spectrum 300 wird von einem leistungsstarken, aber benutzerfreundlichen Softwarepaket gesteuert, das den Anwendern eine einfache Bedienung und Flexibilität für verschiedene Halbleiterverarbeitungsanforderungen bietet. Es bietet auch erweiterte Datenverwaltungsfunktionen, wie die automatische Korrektur von Fehlern und eine vollständige Scan-Rückrufmaschine. Saturn Spectrum 300 ist ein ideales Werkzeug für die Spitzenhalbleiterverarbeitung. Es bietet überlegene Erträge und Durchsatz mit minimalen Störungen durch Größe oder Materialänderungen und ist sehr zuverlässig und kostengünstig. Es wurde entwickelt, um die höchsten Standards an Präzision und Genauigkeit zu erfüllen und bietet die neuesten Leistungsstufen für die Produktion der fortschrittlichsten Halbleiterbauelemente von heute.
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