Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 300e #9221672 zu verkaufen

ID: 9221672
Stepper.
ULTRATECH Saturn Spectrum 300e ist ein leistungsstarker Wafer-Stepper, der eine überlegene Auflösung, Durchsatz und Genauigkeit bietet. Unter Verwendung eines hochmodernen Bildgebungssystems verfügt das Spectrum 300e über die Möglichkeiten, 150mm-Wafer zu handhaben und sie mit einer Positionsgenauigkeit von 2 Mikrometern auszurichten. Die 2X telezentrischen Objektive nutzen ultralow Verzerrungen, die einen optimalen Fokus und ein gleichmäßiges Bild über das gesamte sichtbare Feld bieten. Dadurch kann der Stepper eine optimale Auflösung über den gesamten Wafergrößenbereich erzielen. Das Spectrum 300e verfügt auch über zwei Photonen-Zähler-Scanner, die Laserstrahlen verwenden, um die Übertragungsfunktion, Drift und Rauschen des bildgebenden Systems genau zu messen. Dies gewährleistet nicht nur eine genaue und zuverlässige Bildgebung, sondern sorgt auch dafür, dass auch die komplexesten Masken exakt reproduziert werden. Die Wafer-Ladestation wurde entwickelt, um eine einfache Schnittstelle für das Be- und Entladen von Wafern bereitzustellen. Neben den Standardbetriebsmodi kann der Waferlader auch einfach für die Vorder- und Rückseitenausrichtung konfiguriert werden, was einen optimalen Durchsatz ermöglicht. In puncto Performance ist der Spectrum 300e einer der schnellsten Wafer-Stepper auf dem Markt. Es wurde mit einem zweistrahligen Belichtungssystem entwickelt, das eine Scan-Rate von bis zu 300mm/s liefern kann, um sicherzustellen, dass der Prozess schnell und genau abgeschlossen ist. Um maximale Effizienz zu gewährleisten, verfügt das Spectrum 300e über eine Reihe von Software zur effektiven Überwachung und Verwaltung des Steppers. Zusätzlich zur Steuerung der Schritt- und Waferbelastung bietet die Software-Suite erweiterte Funktionen wie Musterausrichtung, Kantenerkennung, Feinabstimmung des Wafer-Drehwinkels und Wafer-Ladefelder. Neben seiner beeindruckenden Leistung ist das Spectrum 300e einfach zu bedienen und zu warten. Mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche und den vom Benutzer austauschbaren Teilen kann es leicht von Mitarbeitern mit minimaler Erfahrung bedient werden. Darüber hinaus ist der Stepper unter Berücksichtigung der Haltbarkeit konzipiert und durchläuft regelmäßig die End-of-Life-Tests, so dass Kunden in seiner Leistung sicher sein können. Saturn Spectrum 300e ist ein innovativer und zuverlässiger Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um ein optimales Maß an Genauigkeit, Durchsatz und Leistung zu liefern. Die Kombination aus anspruchsvollen bildgebenden Algorithmen und einfacher Bedienung machen es zu einer idealen Wahl für jedes Labor oder jede Produktionsstätte.
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