Gebraucht ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9160685 zu verkaufen

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e ist ein leistungsstarker Allzweck-Wafer-Stepper, der Wafer mit Eigenschaften im Bereich von 15 nm herstellen kann. Es verfügt über eine breite Palette von Modulen und Optionen, so dass verschiedene Anpassungsstufen, und seine High-Speed, automatisierte Ausrichtung Ausrüstung garantiert eine präzise Positionierung. Der Wafer-Stepper ist um einen motorisierten, XY-Bühnen- und Z-Positionierer zur präzisen Stufen- und Wiederholausrichtung und ein hochauflösendes Beleuchtungssystem zur Beleuchtung einzelner Wafer mit gleichmäßiger Beleuchtung ausgelegt. Der Schrittmotor wird von einem an der Bühne angebrachten Wechselstrommotor angetrieben, der in der Lage ist, lineare Bewegungen bis zu 0,1 µm Auflösungen zu liefern. ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E verfügt auch über eine Hochgeschwindigkeits-Bildaufnahmeeinheit, um Bilder der Wafer mit bis zu 5 Hz pro Bild zu erfassen. Diese Maschine ist in der Lage, kleine Fehler und Unterschiede zu erkennen, auch in Merkmalen mit Abmessungen kleiner als 15 nm. Zusammen mit der Ausrüstung, Saturn Spectrum 3e kommt mit einer Reihe von Programmen für Musterung, Inspektion, Messtechnik und Produktion Workflow-Management entwickelt. Es ist auch kompatibel mit mehreren Softwareprogrammen und Standardlayoutformaten, wie GDS, CDL, VHDL, CIF und OASIS, wodurch eine größere Flexibilität bei der Anpassung und Integration vorhandener Workflows ermöglicht wird. Der Wafer-Stepper bietet bis zu 50 Platzierungsoptionen für Wafer-Spannfutter, sodass Benutzer das Hauptfutter ausrichten können, um die Beleuchtung und Bildabdeckung zu optimieren. Es verfügt auch über einen maßgeschneiderten, leistungsstarken Beleuchter, der bis zu 1,2 kW UV-Beleuchtung liefern kann. SATURN SPECTRUM 3 E verfügt über eine patentierte, geschlossene, werkzeugorientierte Technologie, die eine extrem präzise Positionsgenauigkeit bei der Strukturierung von Merkmalen mit Abmessungen bis zu 15 nm ermöglicht. Es verfügt auch über verbesserte Wafer-Spannfutter-Interlocks, die sicherstellen, dass die Wafer-Ausrichtung für mehrere Belichtungen optimiert bleibt. ULTRATECH Saturn Spectrum 3e ist ein zuverlässiger, leistungsstarker Wafer-Stepper, der Präzisionsscheiben mit Funktionen bis zu 15 nm herstellen kann. Mit seiner leistungsstarken Beleuchtung, der präzisen Ausrichtung und der vielseitigen Softwareintegration ist dieser Wafer Stepper ideal für eine Vielzahl von Anwendungen und Workflows.